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项目名称：*吋深硅刻蚀设备采购项目

招标项目编号：*****************/**

招标范围：**包：采购全新*吋深硅刻蚀设备*套，用于*吋线干法刻蚀工序，为实现半导体集成电路*吋硅片制造流程中的深硅刻蚀工艺。（设备通过电感耦合方式产生高密度等离子体，和硅衬底发生化学和物理作用，以达到去除特定区域硅衬底而形成沟槽的目的）。

招标机构：中国远东国际招标有限公司

招标人：陕西电子芯业时代科技有限公司

开标时间：********** **:**

公示开始时间：********** **:**

评标公示截止时间：********** **:**

中标候选人名单：