一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：靶材等耗材采购

三、公开信息：

*.货物名称：高纯铂 靶材 **.**%（中诺新材/φ******绑定φ******铜背靶）、二氧化铌 靶材 **.**%（中诺新材/φ****** 绑定φ******铜背靶）、高纯钛 靶材 **.***%（中诺新材/上台阶φ******下台阶φ******）

*.数量：***、***、*片

*.关键技术指标：高纯铂靶材{纯度≥**.**%，密度高达**.***/**³，化学性质极稳定且抗氧化腐蚀}、 二氧化铌靶材{纯度≥**.**%，利用反应溅射制备高介电常数、高折射率的**₂*₅薄膜}、 高纯钛靶材{纯度高达**.***%（***），是半导体芯片中铜互连工艺的关键阻挡层材料}

*.预算金额：**,***.**元

*.拟成交供应商：中诺新材科技（深圳）有限公司

*.拟成交价格：**,***.** 元

电子与信息工程学院

****年**月**日