深圳技术大学巴条机意向公开
2026-05-29
广东/深圳 招标采购
深圳技术大学巴条机意向公开
广东/深圳-2026-05-29 00:00:00
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
广东/深圳-2026-05-29 00:00:00
深圳技术大学巴条机意向公开
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深圳技术大学巴条机意向公开
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 巴条机 |
| 预算金额（元）: | *,***,***.*** |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟购置巴条机 *套 *.巴条*划片机 *.* 晶圆尺寸：≥*英寸向下兼容 *.* 可划的最小芯片尺寸：***μ*； *.* *轴螺杆长度≥***** , *轴行程≥*****；*轴螺杆长度≥***** ,*轴行程≥*****； ***轴分解能≤*.*μ* ;***轴重复精度：≤±*μ*,精度行程范围 *****； *.* θ轴:旋转范围：≥***°，分辨率≤*.*****°,精度 ±**秒； *.* *轴:行程≥****，分解能≤*.*μ*, 执行精度 ≤±*μ*,荷重*~***； *.* 图像对位系统：低倍率全视野+高倍率精确对位； *.巴条*裂片机 *.* 晶圆尺寸：≥*英寸向下兼容； *.* 可裂最小芯片尺寸：***μ*； *.* 裂片方式：自动影像对位裂片； *.* 劈刀（*轴）：陶瓷劈刀，切入量*.***~*.***，分解能≤*μ*，精度±*μ*，劈刀长度≥*****； *.* 受台/支撑台参数：受台间隔*μ*~***， 精度±*μ*； *.* *轴参数：轴移动量≥*****，分解能≤*.*μ*，重复精度(移动****时) ±*μ* ； *.* *轴参数：轴移动量≥*****，分解能≤*.*μ*； *.* θ轴参数：旋转≥***°，分解能≤*.**°，精度±*.**°/**°； *.* 图像对位系统: 低倍率全视野搜寻 + 高倍率精确对位； *.** 配备*个裂片后手动排/卸巴工作台； |
| 联系人: | 吴国才 |
| 联系电话: | ************* |
| 预计采购时间: | ******* |
| 备注: | 无 |
