*、喷胶范围：*英寸（向下兼容） *、喷胶厚度均匀性：***;**%@*μ* *、喷胶结构深宽比：***;** *、热板温度范围：常温~***℃ *、吸附真空：******~****** *、温度均匀性：优于*％ *、喷涂标准：深***μ*，宽**μ*的沟槽，光刻胶顶部不大于*μ*，顶角不小于*μ*，全部侧壁不小于*.*μ*，底部在*至*μ*。连续喷涂*片，每片内任选**点均满足上述标准 安装选项： *、电源：******/***/****、单相*线 *、功率：*** *、气源：压缩空气（***）或高纯氮气（**） *、排风量：≥****/*** *、流量：****/*** *、排风系统：抽速约*.**/*~**/*之间为宜，提供排风管内径约*****即可； *、排风管可选用密封性较好的**硬管或波纹软管； *、厂务端需提供纯净***或**，上限压力不超过*.****； *、可供供气快插接头为***，相对应口径的**气管长度可根据具体 放置位置而定； **、设备一般需要放置于黄光区，没有黄光区需额外具备其他可黄光实验条件 质量保修与售后服务： *、提供的质保时间为货物验收后*年。 *、在接到需方设备安装通知后**小时内到达买方设备安装现场。 *、在安装调试期间免费为需方的有关设备操作人员进行现场培训，还可以提供相关的工艺培训，由资深工艺专家完成。 *、设备免费安装调试。买卖双方按产品技术规格和需方技术要求进行验收，供方出具验收报告 *、合同签订后供方需要提供合同设备的有关安装要求。如水、电、气、安装场地等要求 *、在质保期以内，保证工作时间内提供售后技术服务支持。**小时内响应 *、对需方所购买的货物及其随机配件，乙方提供 ** 个月的质量保证期，自需方验收通过之日起计算，包括免费维护和修理。保修期届满后，如需要更换零部件，供方只收取零部件的工本费不收人工服务费用。在质保期内，仪器设备在正常使用情况下出现损坏和故障，供方提供免费维修或调换并无条件提供所需的零部件。

按行业标准提供服务