*. 极限真空 优于*×******（新设备）。*. 漏 率 *.*×******·*/*。 *. 工作真空 *×******，从大气到工作真空时间小于**分钟（新设备冷态下,连接手套箱） 。*. 系统保压 系统抽到极限后，停泵关机**小时后，系统真空度保持状态≤***。*. 样品尺寸 *********.根据要求定制。*. 样品托尺寸 ***×*****.根据要求定制。*. 样品架 *~**转/分。 *. 样品架与源表面距离 *****固定。*. 蒸发源 金属源×*套，有机源×*套。 **. 真空室开腔形式 手动前大开门结构。**. 膜厚探头 水冷*只，安装在样品架下方。**. 真空计 冷规方式。**. 抽真空方式 电动+气动，自动抽取真空，程序控制。**. 膜厚及均一性 *****≤±*%。**. 控制方式 触摸屏控制方式。可控制金属蒸发电源、有机蒸发电源。**. 对接口 可对接手套箱。**. 蒸发方式 速率自动蒸发/功率/温度方式。**. 其他 带防抽爆、自动充气。带环境热偶。配置如下： *.蒸镀系统： *.*蒸发室；*套 *.*蒸发屏蔽板 *套 ；*.* *****×**观察窗 *套 ；*.* ****观察窗 *套；*.* 手动观察窗挡板 *套；*.*样品架 *套 ；*.*样品架挡板 *套；*.* 蒸发源及挡板 *套 ；*.*膜厚探头 *套 ；*.**烘烤灯组件 *套 。*真空获得系统 *套 ：配置双级直连机械泵*台，机械泵抽速≥**/* （浙江飞跃）；配置*****气动插板阀*套，通径*****；（****）；配置****气动角阀*只；配置****气动角阀*支；配置****电磁压差阀*支；配置手动放气阀*支；配置气动放气阀*支；配置泵阀三通件 *只；配置****波纹管管路，*只。*.电控系统：*.*工作台 *套；*.*真空控制单元 *套 ；*.*室烘烤照明电源 *套；*.*分子泵电源 *套；*.*金属蒸发电源 *台 ；*.*有机蒸发电源 *台 ；*.*复合真空计 *套；*.*膜厚仪 *套；*.*水排报警部件 *套；*.**冷水机+气泵一台。四﹑设备工作环境 ：* 供电：三相四线 ******，配制 *** 以上的三相五线制供电线路到达设备现场； * 实验室要有独立地线：＜*，从设备到地线连接建议采用*****的扁平铜线；* 供水：流量***/***，水温**℃； * 室内相对湿度：＜**%；室内无大量尘埃，无腐蚀性、易燃易爆气体；* 镀膜机占地面积：长×宽×高 ******×*****×******。响应文件中必须提供生产厂家针对本项目出具的售后服务承诺书原件，保障原厂正品及售后，否则采购人有权拒收

*、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；*、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；*、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；*、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；*、其他按行业标准提供服务；