紫外臭氧清洗仪是利用紫外线结合高浓度臭氧，在可控制的温度下，去除样品表面的光刻胶或各种类型的有机物残留，全部工艺为干法工艺，详细参数如下： *.清洗原理：在腔体内部通入高浓度臭氧，同时在样品下面加热，然后通过紫外光的照射，使臭氧和样品表面的光刻胶或者有机物发生化学反应，从而达到去除样品表面的光刻胶或者有机物残留的作用； *.样品台：直径***毫米，铝制，表面经过防氧化和防腐蚀处理； *.★温度控制范围：室温到***度，通过***热电偶控制； *.★紫外灯：***瓦低压汞灯，有两种波长：***纳米和***纳米； *.臭氧发生器：静音型臭氧发生器； *.定时器：可以设置*到**小时**分钟范围，数字显示； *.气体管路：一个氧气的机械流量计，流量设定范围*到*升/分钟； *.吹扫气体：氮气； *.★臭氧处理器：可消除臭氧至安全排放浓度； **.★去胶性能：光刻胶***********，厚度*.*微米，在**分钟工艺内去除； **.★安全保护：反应室上盖带安全互锁装置，当盖子打开时自动停止臭氧导入； **.厂务要求（由用户自行准备）： **.*电源：***伏，*安培，**赫兹； **.*接地：*型接地（小于等于***欧姆）； **.*工艺气体（氧气）：压力****，*/*英寸快速接头； **.*氮气吹扫：压力****，*/*英寸快速接头； **.*排气：*/*英寸快速接头

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）需要制造商提供该项目的授权书和售后服务承诺书。