卧式桶型真空室尺寸约Ф***** ****** 溅射室极限真空度：≤*×****** (经烘烤除气后)； 从暴露大气状态下，溅射室**分钟可达到********； 系统停泵关机**小时后真空度：≤*.***； 磁控安装靶材：共三个，其中一个可以溅射铁磁性材料 基片尺寸和数量：最大可放置*片*英寸圆形样品； 基片加热区间：室温～***°*，转速连续可调。基片台集成偏压功能 ***流量分别为：*******、*******、******* 合理配置多种电动、气动真空阀门控制分子泵、旋片泵、真空腔体的气压状态 设备安置在钢型材焊接成的台架上，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰； 四支脚轮，可固定，可移动。

按行业标准提供服务，不少于一年质保