*.外型小巧，适合手套箱内操作。 *.铝合金外壳，耐腐蚀透明盖，一体开模内腔，易拆卸清洗，方便更换。 *.彩色触摸屏操作，简单易用，支持中英文界面替换。 *.加减速度可控可调，可设置多步程序控制，运行程序不低于*组*步。 *.最大旋涂尺寸:碎片或不大于*寸基片。 *.转速范围：***********。 *.转速分辨率：≤****。 *.加速度可调范围：***********/*。 *.最大单步步长：≥*****，时间分辨率：≤**。 **.标配真空泵、****、****、*英寸三种规格真空载物盘各一个。

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