桌面式光刻系统（XJ-WSBX-2600151）成交结果公告
2026-05-21
浙江/杭州 中标结果
桌面式光刻系统（XJ-WSBX-2600151）成交结果公告
浙江/杭州-2026-05-21 00:00:00
浙江/杭州-2026-05-21 00:00:00
成交信息：
| 成交供应商： | 苏州中芯启恒科学仪器有限公司 |
|---|---|
| 成交金额： | ***,*** |
| 成交理由： | 符合要求，价格最低 |
| 项目名称 | 桌面式光刻系统 | 项目编号 | *************** |
|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | ********** **:**:** | 公示截止日期 | |
| 采购单位 | 浙江大学 | 付款方式 | 货到付款，甲方在到货验收后**日内向乙方一次性支付本项目的总额 |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后*个工作日内 | 到货时间要求 | 成交后*个工作日内 |
| 预算 | ￥***,*** | ||
| 发票要求 | |||
| 收货地址 | 生物系统工程与食品科学学院***实验室 | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
|
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采购清单*
| 采购物品 | 是否允许进口 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|---|
| 桌面式光刻系统 | 否 | * | 台 | 光学测试仪器 |
| 品牌 | 中芯启恒 | ||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | ********** | ||
| 成交价 | ￥***,*** | ||
| 技术参数 | 该设备曝光面积*****×*****，波长*****，分辨力*.*μ*，对准精度±*.*μ*，最大胶厚***μ*。光源平行性＜*.*°，照明不均匀性≤*%。曝光头启动时自动水平伸缩。采用紫外***，强度****，定时曝光。掩模尺寸***英寸，样片尺寸***英寸（厚度*.*****），掩模样品相对运动行程*/*各***，θ±*°。对准显微镜放大***倍，扫描范围*±****、*±****。配备*.*英寸触屏，推拉式真空吸附。旋涂装置转速************，加速度********/*，带安全互锁。加热装置室温****℃，热板***×*****，温控均一性≤*%，稳定性±*℃。配套光刻胶膜厚≥***μ*，容量≥*****。 | ||
| 售后服务 | 质保期:*年; | ||
浙江大学
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