控制器C-887.5220； 六足台规格：真空兼容1 E-6hPa；xy行程±22.5mm；z行程±12.5mm；θ X 、θ Y 行程±7.5°；θ Z 行程±12.5° ；X、Y和Z向上的最小位移0.3微米；θ X 、θ Y 、θ Z 向上的最小位移3.5微弧度 ；X、Y向上的重复精度 ±0.5微米；Z向上的重复精度 ±0.1微米；θ X 、θ Y 向上的重复精度 ±2微弧度；θ Z 向上的重复精度 ±2.5微弧度；负载能力（底板为水平方向）35kg；负载能力（底板为任意方向）15kg；保持力（断电、底板为水平方向）350N;保持力（断电、底板为任意方向）150N;"
" *****="****************">*. "数据传输线缆，***（真空内大于**）；电源供电线缆；***（真空内大于**）;配备相关的真空零附件； 真空馈通法兰建议采用***** **规格； 配备控制器*****.****； 六足台规格：真空兼容* ******；**行程±**.***；*行程±**.***；θ * 、θ * 行程±*.*°；θ * 行程±**.*° ；*、*和*向上的最小位移*.*微米；θ * 、θ * 、θ * 向上的最小位移*.*微弧度 ；*、*向上的重复精度 ±*.*微米；*向上的重复精度 ±*.*微米；θ * 、θ * 向上的重复精度 ±*微弧度；θ * 向上的重复精度 ±*.*微弧度；负载能力（底板为水平方向）****；负载能力（底板为任意方向）****；保持力（断电、底板为水平方向）****;保持力（断电、底板为任意方向）****;"