离子能量仪参数：※*、电压范围：******到+*****；※*、电流范围：*****到****；*、通讯方式****.*或以上；*、同步信号：***输入，**；*、栅极数量：*层栅极；*、探头直径：≤****；*、底座直径：≤****；*、底座厚度：≤***；*、最大工作温度：***℃；**、探头材料：铝，阳极氧化铝，陶瓷；**、探头与腔室连线长度：≥******； **、真空法兰类型：标准****；※**、离子能量范围：**********、****分辨率：最小±***；※**、偏压频率范围：******到*******、时间分辨率：***μ*

按行业标准提供服务