电子束胶专用匀胶机、电子束胶专用热板（XJ-WSBX-2600114）成交结果公告
2026-05-13
浙江/杭州 中标结果
电子束胶专用匀胶机、电子束胶专用热板（XJ-WSBX-2600114）成交结果公告
浙江/杭州-2026-05-13 00:00:00
浙江/杭州-2026-05-13 00:00:00
成交信息：
| 成交供应商： | 上海马斯科半导体科技有限公司 |
|---|---|
| 成交金额： | ***,*** |
| 成交理由： | 符合要求，价格最低 |
| 项目名称 | 电子束胶专用匀胶机、电子束胶专用热板 | 项目编号 | *************** |
|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | ********** **:**:** | 公示截止日期 | |
| 采购单位 | 浙江大学 | 付款方式 | 货到付款，甲方在到货验收后**日内向乙方一次性支付本项目的总额 |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后*个工作日内 | 到货时间要求 | 成交后**个工作日内 |
| 预算 | ￥***,*** | ||
| 发票要求 | |||
| 收货地址 | 玉泉校区微电子楼超净实验室*** | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
|
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采购清单*
| 采购物品 | 是否允许进口 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|---|
| 电子束胶专用热板 | 是 | * | 台 | 电子工业生产设备 |
| 品牌 | *** | ||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | ****** **** | ||
| 成交价 | ￥***,*** | ||
| 技术参数 | *不锈钢机身（抗化学腐蚀，容易清洗） *使用**********？触控屏幕的人机互动操作系统计算机控制系统 *可完成最大*英寸圆片或*英寸方片作业 手动上下料 *可实现温度根据环境变化自动调节功能 *密码保护功能 *台面材质与尺寸：**英寸方形阳极氧化铝 **温度设定最小精度：*.*℃ **温度可设定范围：室温到***℃ **温度均匀性：在热板表面测量允许误差+/**.*% **设备具备温度程序设定曲线升温功能 *** 设备具备定时升起顶针功能 ***设备具备自动测量并显示工作环境温度，湿度功能 **设备异常时将发出警报声提示 **四种烘烤方式：接触式，悬浮式，真空吸附，顶针式 | ||
| 售后服务 | 服务网点:当地;电话支持:****小时;质保期:*年;服务时限:报修后*小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品; | ||
采购清单*
| 采购物品 | 是否允许进口 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|---|
| 电子束胶专用匀胶机 | 是 | * | 台 | 电子工业生产设备 |
| 品牌 | *** | ||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | ****** ****** | ||
| 成交价 | ￥***,*** | ||
| 技术参数 | * 不锈钢机身（抗化学腐蚀，容易清洗） * 使用**********？操作系统计算机控制系统具备强大人机界面和数据连通能力 * *英寸全色触摸屏 * 该设备适用于最大*英寸圆片作业 手动上下料 * 透明丙烯酸的机盖，可观察工艺全过程。 * 排气、排水位于*****水平线下（保证均匀性并可调节） * 排气装置、真空、排水、电等位于设备后部 * **控制 * 晶圆专用真空卡盘套装*套（*/*英寸、*/**英寸、*/*英寸、*/*英寸、*.*英寸、*.**英寸，可针对碎片，*英寸，*英寸，*英寸圆形晶圆使用） ** 用户图像界面 ** 无穷组工艺程序可设定 **密码保护设定 *** 转速可设定范围：****,*** *** *** 加速度：* ** **,*** ***/*（空载情况下） * ** **,*** ***/*（*英寸硅片装载情况下） *** 转速误差精度: ***; *.* *** *** 转速可设定最小精度***; *.* *** *** 卡盘马达可顺时针、逆时针旋转 ** 时间设定精度*.*秒（*,***.*秒最大） ** 匀胶均匀性：衬底为***毫米圆形硅片，*微米胶厚时±*%以内。 *** 间接无刷交流伺服驱动电机（防止污染化学物直接进入电机内部） ** 真空盖子安全自锁(未盖密闭报错提醒) ** 自动真空自锁(硅片真空未吸附，报错提醒) ** 设备异常时将发出警报声提示 ** 匀胶腔体底部曲面倾斜式，减少光刻胶的堆积，减少反溅，减少维护保养次数，并且带有*套可更换内衬，方便使用者定期清洗保养。 ** 设备具备自动测量并显示工作环境温度，湿度功能 | ||
| 售后服务 | 电话支持:****小时;质保期:*年;服务时限:报修后*小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品; | ||
浙江大学
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