无掩膜光刻机（A-WZBX1302）采购公告
2026-05-13
福建/厦门 招标采购
无掩膜光刻机（A-WZBX1302）采购公告
福建/厦门-2026-05-13 10:11:35
福建/厦门-2026-05-13 10:11:35
无掩膜光刻机（**********）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：**次
| 项目名称 | 无掩膜光刻机 | 项目编号 | ********** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ********** **:**:** | 公告截止日期 | ********** **:**:** |
| 采购单位 | 物理科学与技术学院 | 付款方式 | |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 签约后**个工作日内 | |
| 预算总价 | ￥***,***.** + + 未公布 | ||
| 收货地址 | 海韵园科研一*** | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
|
||
| 公告说明 | |||
采购清单*
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 无掩膜光刻机 | * | 台 | 无 无 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
*.无需物理掩膜板； *.直写分辨率模式：*.*μ*，*.*μ*，和 *.*μ* 共计 * 个原位直写模式，且 * 种直写分辨率模式可通过软 * / *件自动切换，无需人工切换镜头； *.最快直写速度 （***/***）：**@*.*μ*，**@*μ*, ***@*μ*； *.对准及套刻 精度：±***； *.直写光源为 *****，满足多样化光刻胶不同波 长光源要求；光源功率：*.**； *.最大基片尺寸：***** 直径； 最大基片厚度：****； *.最大加工区域：*****×*****； *.配 有光学轮廓探测系统，可进行二维成像，* 向分辨率优于 *****; *.配备 ********** 自动对焦组件,可对表面不平整的样品进行 * 向聚焦加工面自动调节； **.配备自动标记识别功能，可快速自 动识别特定图形标记图案。 **.配备可视化虚拟电子掩膜版对准 功能（***）； **.带有同一任务不同区域不同分辨率模式自动 组合加工功能。 **.配套特殊配置的计算机一套； |
| 售后服务 | 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训; |
********** **:**:**
附件下载：
请各位供应商慎重报价，确认完全符合采购人商务、技术及合同（详见***.****.***.**,下载中心，各类合同模版）要求，且供应商响应的商务、技术及合同要求须与采购人提出的商务、技术及合同要求完全一致，不允许负偏离，亦不可正偏离。成交后，以任何理由不签署合同，或者签署合同后不按照合同履约，均将列入陕西师范大学供应商违规失信行为名单，三年内禁止参加陕师大非政府采购项目。若因此引起法律纠纷，请向陕西省西安市雁塔区人民法院提起诉讼。
报价人若成为该项目成交供应商后自行放弃成交资格、或不签订采购合同、或不履行合同约定、或存在相互串通现象等违反采购相关法律法规的行为，
三年内不得参与学校网上竞价采购项目，并承担由此引起的相应法律责任。
三年内不得参与学校网上竞价采购项目，并承担由此引起的相应法律责任。
