磁控溅射镀膜机(A-WZBX1301)采购公告
2026-05-12
福建/厦门 招标采购
磁控溅射镀膜机(A-WZBX1301)采购公告
福建/厦门-2026-05-12 16:12:06

磁控溅射镀膜机(**********)采购公告

发布时间:********** **:**:**阅读量:*
项目名称 磁控溅射镀膜机 项目编号 **********
公告开始日期 ********** **:**:** 公告截止日期 ********** **:**:**
采购单位 物理科学与技术学院 付款方式
联系人 成交后在我参与的项目中查看 联系电话 成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求 到货时间要求 签约后**个工作日内
预算总价 ***,***.** + + 未公布
收货地址 海韵园科研一***
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明
采购清单*
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
磁控溅射镀膜机 *
品牌 品牌*
型号
品牌*
型号
品牌*
型号
预算单价 ***,***.**
技术参数及配置要求 该仪器主要指标: * 设备通用指标 真空室尺寸:
Φ*****×****** 整机尺寸:*******×*******×*******
整机重量:***** 溅射方向:靶在上,样品在下 磁控靶大
小及数量:φ* 英寸磁控靶 * 只 样片大小及数量:φ* 英寸 *
片 电源配置:***** 直流电源 * 台,**** 射频电源 * 台,*
**** 偏压电源 * 台 抽口大小:φ***** 工艺气体:
**、**、** 三路 * 真空度指标 极限真空度:≤*.*×******
系统漏率:≤*×******·*/* 静态升压:系统停泵关机 ** 小
时后,真空度≤*** 抽气速率: 系统充干燥 ** 解除
真空,短时暴露大气后抽气至 *×******≤***** 系统
充干燥 ** 解除真空,短时暴露大气后抽气至 *.*×***
***≤***** * 工艺指标 溅射不均匀性≤±*%的均匀区: Φ*
英寸 溅射距离调节范围:****** 靶角度调节精度:*° *
温度指标 样片表面最高温度:***℃ 控温精度:*℃ 温
度不均匀性:≤±*%
售后服务 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;

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