感应耦合等离子体刻蚀机(A-WZBX1300)采购公告
2026-05-12
福建/厦门 招标采购
感应耦合等离子体刻蚀机(A-WZBX1300)采购公告
福建/厦门-2026-05-12 16:12:04

感应耦合等离子体刻蚀机(**********)采购公告

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项目名称 感应耦合等离子体刻蚀机 项目编号 **********
公告开始日期 ********** **:**:** 公告截止日期 ********** **:**:**
采购单位 物理科学与技术学院 付款方式
联系人 成交后在我参与的项目中查看 联系电话 成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求 到货时间要求 签约后**个工作日内
预算总价 ***,***.** + + 未公布
收货地址 海韵园科研一***
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明
采购清单*
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
感应耦合等离子体刻蚀机 *
品牌 品牌*
型号
品牌*
型号
品牌*
型号
预算单价 ***,***.**
技术参数及配置要求 该设备主要指标: * 设备通用指标 真空室尺寸:
Φ*****×****** 整机尺寸:*******×******×*******
整机重量:***** 样片大小及数量:φ* 英寸样片 * 片或散片
多片 * 真空度指标 极限真空度:≤*×****** 系统漏率:
≤*×******·*/* 静态升压:系统停泵关机 ** 小时后,真空
度≤*** 抽气速率: 系统充干燥 ** 解除真空,短时暴露大
气后抽气至 *×******≤***** 系统充干燥 ** 解除真空,短时
暴露大气后抽气至 *×******≤***** * 工艺指标 刻蚀不均匀
性:≤±*%(φ* 英寸范围内) 刻蚀距离调节范围:***
*****,自动调节 刻蚀距离调节精度:*** * 温度指标 水冷台
工作温度:**℃***℃
售后服务 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;

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