标的名称：薄膜沉积设备及仿真设备
数量/单位：*批
预算金额（元）：*******.**

采购目录：*********半导体器件参数测量仪

需实现的主要功能或者目标：拟采购半导体核心装备装配及应用中心薄膜沉积设备及仿真等相关设备。其中：
薄膜沉积设备装配及应用实训平台包含进样室、传输室及溅射室等核心模块，通过阀门实现各腔体隔离；进样室可同时装载多片晶圆；设备配备晶圆传输机械臂，支持编程控制；系统支持模拟溅射起辉过程及基本工艺控制。
薄膜沉积组装虚拟仿真实训平台包含产业级***设备模型，支持晶圆仿真，具备整机一键拆解、零部件拆解及组装功能，实现设备结构认知与装配工艺仿真训练

需满足的质量、服务、安全、时限等要求：国家标准；按需求完成；环保安全；按招标文件约定完成。