标的名称：离子注入机及仿真设备
数量/单位：*批
预算金额（元）：*******.**

采购目录：*********半导体器件参数测量仪

需实现的主要功能或者目标：拟采购半导体核心装备装配及应用中心离子注入机及仿真等相关设备。其中：
离子注入机装配及应用实训平台围绕高能产业级离子注入设备构建，支持晶圆工艺应用，涵盖设备基础安装、核心功能单元认知及工艺流程训练，满足离子注入工艺教学及设备维护实训需求。
离子注入机组装虚拟仿真实训平台包含高能产业级离子注入机三维模型，支持晶圆仿真，具备整机一键拆解、零部件拆解及组装功能，可实现设备结构认知、装配路径学习及安装过程仿真训练

需满足的质量、服务、安全、时限等要求：国家标准；按需求完成；环保安全；按招标文件约定完成。