深圳大学三维光学轮廓仪意向公开

采购单位:深圳大学

项目名称:三维光学轮廓仪

预算金额（元）:*,***,***.***

采购品目:光学计量仪器

采购需求概况:深圳大学光电中心定位于微纳加工，器件工艺等方面的应用研究，具备光刻*刻蚀*镀膜*表面形貌检测的完整工艺链条，样品涵盖微纳尺度下的光子集成器件、超构表面及功能性光学薄膜等多种样品。

功能要求：*、可实现包括半导体材料、芯片、封装等大面积样品表面形貌的无接触快速精准拼接检测。*、*轴方向实现纳米级别高度测量，具备翘曲度、平面度、共面度分析等功能。*、具备共面度，平整度，台阶高度和粗糙度的自动分析工功能，共面度标准分析模块。*、能够配合中心双光子加工等光刻备实现各种光刻样品的检测。*、要求设备稳定，工艺重复度高且易于后期维护。

主要技术参数：

*.机型为大型干涉仪龙门支架，可拆卸，采用非接触式光学测量技术的测头系统：同时具备共聚焦、白光干涉（***）、相位差干涉（***）、增强型相位差（****）多焦面叠加测量技术，且光路设计不含转盘等振动或运动部件，保证设备运行和测量的稳定性。

*.光源类型：***红光 (*** **); 绿光 (*** **); 蓝光 (*** **)和白光 (*** **)

*.具备升级五轴测量系统接口

*.具备锆钛酸铅（***）压电陶瓷

*.***重复精度≤*.*****

*.电动载物台自动倾斜调平功能

*.最大拼接张数⩾***张****张，大幅拼接图片像素值⩾*亿

*.提供主动式电磁阀防震系统

预计采购时间:******

联系人:林老师

联系电话:*************

备注:无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

源网址：****://****.******.***:****/****/******/*********/************/********/************************************.****