主要适用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜。 靶材：适合**,**,**,**等 工作腔室：内径********* 样品台（可定制）：小载物台直径φ****，可同时放*个样品杯；大载物台直径φ**** 抽气速率：**/* 极限真空：≤*** 工作气体：空气或氩气 配置清单：金靶，机械泵，玻璃罩，油雾过滤器各一个。

按行业标准提供服务。质保 *年，耗材、易损件除外。原厂维修，*小时响应。