该设备可对材料表面进行氮化处理，提升其表面性能，具体参数如下：(*)射频控制：功率输出范围 ****，最大反射功率≤*%，工作功率≤***；(*)*.真空控制：高真空分子泵控制，真空范围***********，真空分子泵理论极限真空度 ********，抽气速率****/*，出气口配有油雾过滤器，额定电压****，功率***；(*)*.气体控制：四路气路，质量流量计（按键式）控制，流量范围*********（标准毫升/分）氮气标定，精度±*%*.*，响应时间****，工作温度（流量计）****℃，进气压力*.****.**** （表压力），进气方式采用防倒流设计。(*)控制方式：液晶触摸显示屏，预加热炉及双温区电炉程序控温（可预设配方）(*)设备尺寸及重量：外形尺寸**************，总重量*****

*、按行业标准提供产品和服务； *、是否要求本地有售后服务网点：（*） *.是 *.否 “本地”指采购单位所在省级行政区域；有售后服务网点的证明材料包括：参与竞价公司营业执照，当地某公司营业执照以及该当地公司与参与竞价公司之间签订的有效合作协议。本地供应商无需上传证明文件；外地供应商需上传当地服务网点证明文件压缩包。