*) 蒸发源能同时盛放至少三个坩埚； *) 可以在不破坏主腔体真空的情况下，自由更换坩埚及材料； *) 至少有两个坩埚可以同时工作，且温控稳定性在±*.*℃； *) 安装法兰** **； *) 使用石英坩埚，坩埚外径≤***，内径≥***，长度**.* **～****； *) 蒸发源可以倒置使用； *) 蒸发温度范围**℃～***℃，三个坩埚之间无交叉干扰；其中一个加热到***℃时，另外两个坩埚温度不得超过***℃； *) 内置挡板，可以实现单开、双开、三开、全关等功能； *) 可气冷、水冷、液氮冷却； **) 带线性推进器，伸缩距离≥*****，蒸发源可完全收缩进波纹管； **) 有至少一路****开口可用于旁抽； **) 配备***全金属角阀； **) 配套控制器有≥*路独立控温系统，带 ***** 接口的可编程微处理器； **) 为了尽可能减小加热对超高真空系统的真空度影响，要求蒸发源加热器的功耗足够小，具体要求：维持***℃时功耗不超过*.**，维持***℃时功耗不超过**，维持***℃时功耗不超过**；维持***℃时功耗不超过***； **) 为了使用方便，要求坩埚加热到***℃以内温度时，可以无需连接冷却水进行冷却；

电话支持:****小时;服务年限:五年;服务时限:报修后**小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;提供培训;