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项目名称：燕东股份高压大功率芯片生产能力提升项目栅氧化炉设备采购

招标项目编号：*****************

招标范围：编号 设备名称 数量 简要技术说明 * 栅氧化炉设备 *台 用于第三代半导体 *** 晶圆的干氧、湿氧、一氧化氮退火等高温热处理工艺使用，适用于 *、* 吋碳化硅片，最高工艺温度 ****℃，配有自动装片装置，具有 ******** ** ******** 装片功能。

招标机构：华采招标集团有限公司

招标人：北京燕东微电子股份有限公司

开标时间：********** **:**

公示开始时间：********** **:**

评标公示截止时间：********** **:**

中标候选人名单：