采购单位

南方工业技术研究院（深圳）

项目名称

聚焦离子束电子束双束显微镜

预算金额（万元）

***万元

采购品目

电气物理设备

采购需求概况

设备用于微纳结构的精密制备、加工与关键工艺监控，可实现高精度图形制备与三维结构加工；具备高端的微纳加工功能及工艺过程可视化指引，支持多种材料与复杂结构的制备需求，满足微纳制造相关学科未来发展需要。

联系人

许老师

联系方式

电话：*************

邮箱****@******.***

预计采购时间

****年*月

备注

无