ZSDZB2026-008 材料学院光电薄膜材料原位沉积系统 采购公告
2026-05-07
山东/青岛 招标采购
ZSDZB2026-008 材料学院光电薄膜材料原位沉积系统 采购公告
山东/青岛-2026-05-07 15:15:03
山东/青岛-2026-05-07 15:15:03
************* 材料学院光电薄膜材料原位沉积系统 采购公告
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中国石油大学（华东）材料学院光电薄膜材料原位沉积系统校内招标公告项目编号：*************中国石油大学（华东）依据学校管理规定，并参照《中华人民共和国政府采购法》及其他相关法规，就下述采购项目进行校内招标，邀请合格投标人进行投标。一、招标人名称：中国石油大学（华东）二、招标人地址：山东省青岛市黄岛区长江西路**号三、本次招标内容如下：名称：材料学院光电薄膜材料原位沉积系统数量：*套预算：**.*万元本项目不分包。技术要求：详见附件。四、资格要求*.投标人必须具有标的物的制造或合法的供货能力（进口产品必须取得生产厂家针对本项目的授权），具有履行合同和售后服务能力。*.投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的相关规定。*.投标人未被列入“信用中国”网站（***.***********.***.**）“失信被执行人”、“重大税收违法案件当事人名单”、“政府采购严重违法失信名单”；不处于中国政府采购网（***.****.***.**）“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。*.本项目不接受联合体投标。五、采购文件的获取*. 供应商应先进入中国石油大学（华东）采购与招标办公室主页（*****://***.***.***.**），点击右上角“供应商登录”，再点击“微信登录”或“账户登录”，按系统提示进行登记注册，注册后拨打云采通服务电话进行审核，审核通过后点击采购公告下方的“我要报名”，填写真实准确报名信息后提交。报名缴费时选择“在线支付”方式，缴费成功一小时后依据系统提示下载采购文件。注：如有问题可咨询*************（杨老师）。*.报名起止时间：****年*月*日*****年*月**日下午**:**前(北京时间，节假日除外)。*.工本费:***元（售后不退，未购 买采购文件的投标人不具备参加投标资格。如 需开 具发票 ，请于交费后一周内将开票 信息 发送到财务邮箱********@***.***.**，财务联系电话*************。）六、投标文件提交起止时间、地点*.提交时间：****年*月**日**:*****:**（北京时间）。*.提交地点：中国石油大学（华东）西北门 （靠近 体育馆 ）校 门外 （不进学校）。*.提交方式：投标人必须于投标文件提交截止时间 前派 投标 代表 提交投标
文件，逾期不再受理，传真、邮寄等方式提交的投标文件概不接收。七、开标时间及方式：*. 开标时间：****年*月**日**:**（北京时间）*. 开标地点：中国石油大学（华东）行政办公楼****室。八、投标保证金：本项目不需要缴纳投标保证金。九、联系方式：项目联系人：汤老师联系电话************邮箱：********@***.***.**采购与招标办公室网址：*****://***.***.***.**招标监督电话：*************中国石油大学（华东）采购与招标办公室****年*月*日具体要求一、功能及用途要求该系统 是单室 结构 ，可用于纳米结构阵列薄膜材料（金属 、无机非金属等）的生长与器件组装制备，功能器件开发。二、技术要求*.*可实现二维过渡金属硫化物超薄单晶光电薄膜的原位逐层生长；*.* 真空室采用***不锈钢 制造， 工艺 真空室采用方法兰圆前开门设计，门上带有*****观察窗（带磁力转轴挡板）；*.* 预留进样室接口法兰；*.* 主真空泵采用一流品牌分子泵，对氮气抽速不小于*****/*；**.*极限真空：优于********；（提供证明材料并加盖供应商公章）*.* 抽速：主真空室从大气抽到*.********时间少于**分钟；*.* 停泵关机**小时后主腔室真空度≤*.***；*.* 真空检漏漏率：≤*.********.*/**.* 插板阀用三位一体结构；*.** 配置 国际一流品牌陶瓷 电容 溅射压 力计，在 溅射 时工作 ，测量精度 不低于*.***，并可以***反馈控制工艺气体进气流量；**.** 控压稳定时间小于**秒；（提供证明材料并加盖供应商公章）*.** 工艺气体流量采用比例模式或者定量模式，程序控制；*.** 气路接口：***接口
*.**四靶共沉积配置，三个直流靶、一个射频靶，四靶可共同折向上面的样品中心，靶与样品距离可调，程序控制调整；★*.**靶可共同 偏离样 品中 心，靶与样品距离*～****范围内任意设置，程序控制调整；（提供证明材料并加盖供应商公章）*.**强磁靶采用可调磁场结构；★*.**共计*个靶 ，*个直流 ，*个射频 ，每个靶枪无胶圈密封，靶枪 必须 满足******超高真空环境下使用。（提供证明材料并加盖供应商公章）*.**每个靶枪带一个独立的电控挡板，无交叉污染；*.**工件台可以放最大Φ*英寸工件，向下兼容；*.**基片 可加 热，最高炉温***°*，温度稳 定后 设置精度和显示精度偏差不大于±*°*；*.**基片可连续回转，转速*～**转/分；*.**采用磁力传递无泄漏密封的方式；*.**基片可以加负偏压*****；**.**样品托：样品托架 可升降****，采用 磁力传递无泄漏密封的方式，用于样品交接和取放；（提供证明材料并加盖供应商公章）*.**样品可升降，******；样品倾斜可调，****°范围；★*.**溅射均匀性，重 复性 ：(*******)/(*********)****≤±*.*%；（提供证明材料并加盖供应商公章）*.**采用触屏+***控制模式；*.**主控系统有手动和自动控制模式；*.**所有操作可以在触屏上完成；*.**可以创建、编辑、存储工艺文件；*.**可以实现“一 键式” 操作，自动模式下，选择工艺 文件，系统可以自动执行所有操作直到工艺完成；*.**有自动记录工艺参数的日志功能；*.**系统 带完整的自锁 保护功能，有急停开 关，在 突然 停电时， 所有阀门 自动关闭；*.**手机端远程操控功能；三、附件、备件和消耗品
*.*、无氧铜密封垫圈（相关规格各一个）*.*、*型氟橡胶密封圈：（相关规格各一个）*.*、烘烤灯：*个*.*、专用工具：*套四、技术服务*.* 供应商必需在使用者的实 验室内 安装调 试仪 器直 至用户 认可仪器符合技术性能为止。*.* 供应商必须为买方两位人 员提供 至少五天的培训 时间， 培训 内容包 括仪 器的基本原理、操作及一般仪器维护保养知识。*.* 制造商在国内的技术服务中心（包 括维修中心）应当提供所有的服务包括备用零件及消耗品（以人民币结算）。
附件下载：
本项目采购需遵照《重庆大学采购管理办法》、《重庆大学校级采购实施细则》、《重庆大学零星采购实施细则》执行，适用“有效最低价成交原则”，成交后将采用电子签章的方式签要对应的
《重庆大学货物采购合同书》，请各位供应商仔细阅读本项目采购公告、《重庆大学货物采购合同书》、《云采通电子印章使用规则》，确认其报价及后续履约完全符合上述要求。成交后，供应商以任何理由不签署合同或者签署合同后不按照合同履约的，均将列为不诚信供应商，一至三年内禁止参加重庆大学采购活动。
