ZSDZB2026-011 材料学院等离子体刻蚀系统 采购公告
2026-05-07
山东/青岛 招标采购
ZSDZB2026-011 材料学院等离子体刻蚀系统 采购公告
山东/青岛-2026-05-07 15:14:56
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************* 材料学院等离子体刻蚀系统 采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：*次
中国石油大学（华东）材料学院等离子体刻蚀系统校内招标公告项目编号：*************中国石油大学（华东）依据学校管理规定，并参照《中华人民共和国政府采购法》及其他相关法规，就下述采购项目进行校内招标，邀请合格投标人进行投标。一、招标人名称：中国石油大学（华东）二、招标人地址：山东省青岛市黄岛区长江西路**号三、本次招标内容如下：名称：材料学院等离子体刻蚀系统数量：*套预算：**万元本项目不分包。技术要求：详见附件。四、资格要求*.投标人必须具有标的物的制造或合法的供货能力（进口产品必须取得生产厂家针对本项目的授权），具有履行合同和售后服务能力。*.投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的相关规定。*.投标人未被列入“信用中国”网站（***.***********.***.**）“失信被执行人”、“重大税收违法案件当事人名单”、“政府采购严重违法失信名单”；不处于中国政府采购网（***.****.***.**）“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。*.本项目不接受联合体投标。五、采购文件的获取*. 供应商应先进入中国石油大学（华东）采购与招标办公室主页（*****://***.***.***.**），点击右上角“供应商登录”，再点击“微信登录”或“账户登录”，按系统提示进行登记注册，注册后拨打云采通服务电话进行审核，审核通过后点击采购公告下方的“我要报名”，填写真实准确报名信息后提交。报名缴费时选择“在线支付”方式，缴费成功一小时后依据系统提示下载采购文件。注：如有问题可咨询*************（杨老师）。*.报名起止时间：****年*月*日*****年*月**日下午**:**前(北京时间，节假日除外)。*.工本费:***元（售后不退，未购 买采购文件的投标人不具备参加投标资格。如 需开 具发票 ，请于交费后一周内将开票 信息 发送到财务邮箱********@***.***.**，财务联系电话*************。）六、投标文件提交起止时间、地点*.提交时间：****年*月**日**:*****:**（北京时间）。*.提交地点：中国石油大学（华东）西北门 （靠近 体育馆 ）校 门外 （不进学校）。*.提交方式：投标人必须于投标文件提交截止时间前派投标 代表 提交投标
文件，逾期不再受理，传真、邮寄等方式提交的投标文件概不接收。七、开标时间及方式：*. 开标时间：****年*月**日**:**（北京时间）*. 开标地点：中国石油大学（华东）行政办公楼****室。八、投标保证金：本项目不需要缴纳投标保证金。九、联系方式：项目联系人：汤老师联系电话************邮箱：********@***.***.**采购与招标办公室网址：*****://***.***.***.**招标监督电话：*************中国石油大学（华东）采购与招标办公室****年*月*日具体要求一、功能及用途要求该系统 是一台高 真空单室离子束刻蚀系统，离子束刻蚀是利用低能量平行**+离子束对基片表面进行 轰击， 将基片表面未覆盖掩膜的部分溅射出 ，从而达到选择刻蚀的目的主要用来金属 、合 金、氧化 物、 化合物、 混合材料、半导 体、 绝缘体、超导体等材料的刻蚀。二、技术要求*、系统采用单室式结构 ，主要用于反应离子刻蚀，可刻蚀的材料主要有过渡金属硫化物、超薄二维氧化物半导体等。*、主要 组成： 设备 主要 由刻蚀室 组件、下电极组 件、刻蚀室真空获得和 测量组件、气路组件、控制系统、冷却系统等部分组成。*、刻蚀室极限真空：≤***（环境湿度≤**%，系统经烘烤除气）；*、刻蚀室漏率：≤*.*×******·*/*；*、刻蚀工作真空：*.**～**.***；*、刻蚀室尺寸约 为*****×**，刻蚀室手动上 开盖结构；真 空室组件及 配备零部件全部 采用 优质航空铝材料制造；真空室组件上有 各种 规格的法兰接口如下（包含但不限于下列接口）：样品台法兰接口：*个；观察窗 法兰接口：*个；进气阀 接口*个、放气阀接口*个、低真空规管*个；**、样品尺寸 ：最大尺寸Φ*****（向下兼容更小的晶圆和不规 则小片；不同 尺寸样
片之间的切换）；（提供证明材料并加盖供应商公章）*、样品冷却：水冷；**、下电 极采用**.*****射频 电源与自动匹配器 系统一套，最大功 率****；（提供证明材料并加盖供应商公章）**、反辐射****玻璃窗口：*块；**、进气阀：***接头；**、直联机械泵：*台（抽速**/*,优成）；**、系统 由触摸屏和***实现对整个 系统的 控制，有 自动和 手动控制两种 功能， 操作过程全部在触摸屏上实现；**、有手机远程控制功能；***、提供 配方， 设置真空系统、刻蚀电源系统、 气路系统等人机操作界面，在 触摸屏上可通过配方式参数设置 方式实 现对程序工艺过程和设备 参数的 设置。（提供 证明材料并加盖供应商公章）**、提供 全面 的系统 自动保护 功能，对各重要 部分、关 键操作 实现互锁保护，包 括真空系统、刻蚀电源系统、气路系统等；**、提供 完善 的系统 工艺 数据 保存 和历史曲 线显示功能、远程访 问功能 以及全面 的报警显示和事件记录功能；**、刻蚀系统安放在一个台架上，四只脚轮，可固定，可移动；★**、刻蚀 均匀性 ：*****样品， 优于±*.*%，边缘***不计；（提供 证明 材料并加盖供应商公章）★**、刻蚀速率****, 不小于****/***；（提供证明材料并加盖供应商公章）★**、预留****** ******升级接口；（提供证明材料并加盖供应商公章）三、附件、备件和消耗品*.*、无氧铜密封垫圈（相关规格各一个）*.*、*型氟橡胶密封圈：（相关规格各一个）*.*、烘烤灯：*个*.*、专用工具：*套四、技术服务*.* 供应商必需在使用者的实 验室内 安装调试仪器直 至用户 认可仪器符合技术性能为止。
*.* 供应商必须为买方两位人员提供 至少 五天的培训 时间， 培训 内容包 括仪器的基本原理、操作及一般仪器维护保养知识。*.* 制造商在国内的技术服务中心（包 括维 修中心）应当提供所有的服务包括备用零件及消耗品（以人民币结算）。
附件下载：
本项目采购需遵照《重庆大学采购管理办法》、《重庆大学校级采购实施细则》、《重庆大学零星采购实施细则》执行，适用“有效最低价成交原则”，成交后将采用电子签章的方式签要对应的
《重庆大学货物采购合同书》，请各位供应商仔细阅读本项目采购公告、《重庆大学货物采购合同书》、《云采通电子印章使用规则》，确认其报价及后续履约完全符合上述要求。成交后，供应商以任何理由不签署合同或者签署合同后不按照合同履约的，均将列为不诚信供应商，一至三年内禁止参加重庆大学采购活动。
