深圳大学三维光学轮廓仪意向公开
2026-05-07
广东/深圳 招标采购
深圳大学三维光学轮廓仪意向公开
广东/深圳-2026-05-07 00:00:00
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
广东/深圳-2026-05-07 00:00:00
深圳大学三维光学轮廓仪意向公开
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深圳大学三维光学轮廓仪意向公开
| 采购单位: | 深圳大学 |
| 项目名称: | 三维光学轮廓仪 |
| 预算金额（元）: | *,***,***.*** |
| 采购品目: | 光学计量仪器 |
| 采购需求概况: | 深圳大学光电中心定位于微纳加工，器件工艺等方面的应用研究，具备光刻*刻蚀*镀膜*表面形貌检测的完整工艺链条，样品涵盖微纳尺度下的光子集成器件、超构表面及功能性光学薄膜等多种样品。 功能要求：*、可实现包括半导体材料、芯片、封装等大面积样品表面形貌的无接触快速精准拼接检测。*、*轴方向实现纳米级别高度测量，具备翘曲度、平面度、共面度分析等功能。*、具备共面度，平整度，台阶高度和粗糙度的自动分析工功能，共面度标准分析模块。*、能够配合中心双光子加工等光刻备实现各种光刻样品的检测。*、要求设备稳定，工艺重复度高且易于后期维护。 主要技术参数： *.机型为大型干涉仪龙门支架，可拆卸，采用非接触式光学测量技术的测头系统：同时具备共聚焦、白光干涉（***）、相位差干涉（***）、增强型相位差（****）多焦面叠加测量技术，且光路设计不含转盘等振动或运动部件，保证设备运行和测量的稳定性。 *.光源类型：***红光 (*** **); 绿光 (*** **); 蓝光 (*** **)和白光 (*** **) *.具备升级五轴测量系统接口 *.具备锆钛酸铅（***）压电陶瓷 *.***重复精度≤*.***** *.电动载物台自动倾斜调平功能 *.最大拼接张数⩾***张****张，大幅拼接图片像素值⩾*亿 *.提供主动式电磁阀防震系统 |
| 预计采购时间: | ****** |
| 联系人: | 林老师 |
| 联系电话: | ************* |
| 备注: | 无 |
