"*、核心指标需求： *、行程：*—±****、*—±****、*—±**** *、分辨率：＞*** *、重复定位精度：＞±*** *、单项定位精度：＞**** *、最大速度：****/*** *、运动直线度：**** *、运动平行度：**** *、回程间隙(空转)：＜*** *、性能指标 *、绝对位置记录:实时显示 *、超行程预警 *、掉电自锁、上电复位 *、其他需求 *、负载：大于*** *、工作环境：*.******(真空环境) *、厂家配备*****馈通法兰 "

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