参数 *. （********）：≥ *** *** *. 进气口数：*个或以上 *. 设备宽度：＜ *** ** 二、气体破坏去除率（***均≥**% *. 氟碳类气体（含 **₄、*₄*₈、***₃、**₃*、**₂*₂ 等*. 含硫/氮氟化物（**₃、**₆） *. 酸性气体（**、***、**₂）*. 含硅/硼卤化物（****₄、***₃） *. 含氧化合物/羰基/硫化物（*₂*、**、***） *. 含氢/碳/氮类气体（*₂、**₃、**₄） 三、保障配置 **. 机台须标配烟感探测器； **. 机台内部须设置漏液带，侦测漏液；且机台底部配置承漏盘，承漏盘内部配置漏液侦测装置； **. 所有水路必须配置双阀控制； **. 机台水箱材质须为 **** 材质，满足耐腐蚀要求； **. 机台循环水路必须配置过滤器，预防喷头堵塞影响水洗效果； **. 配置新风除湿功能；**. 机台宕机后，具备 ******* 旁通管路氮气吹扫功能；**. 机台三通阀自动控制复位****;漏电保护

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