电子束胶专用匀胶机、电子束胶专用热板（XJ-WSBX-2600114）延期公告

2026-05-06

浙江/杭州变更澄清

电子束胶专用匀胶机、电子束胶专用热板（XJ-WSBX-2600114）延期公告
浙江/杭州-2026-05-06 00:00:00

电子束胶专用匀胶机、电子束胶专用热板（***************）延期公告

发布时间：********** **:**:**阅读量：**次

延期信息

延期理由：	由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至******** :** 因报价情况不满足要求，采购方决定延期

项目名称	电子束胶专用匀胶机、电子束胶专用热板	项目编号	***************
公告开始日期	******** ::	公告截止日期	******** ::
采购单位	浙江大学	付款方式	货到付款，甲方在到货验收后**日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人	成交后在我参与的项目中查看	联系电话	成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求	成交后*个工作日内	到货时间要求	成交后**个工作日内
预算总价	￥*,.* + + 未公布
收货地址	玉泉校区微电子楼超净实验室***
供应商资质要求	符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明	由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至******** :**

采购清单*

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
电子束胶专用热板	*	台	电子工业生产设备无无

品牌品牌*

型号

品牌*

型号

品牌*

型号

预算单价￥***,***.**

技术参数及配置要求

*不锈钢机身（抗化学腐蚀，容易清洗）
*使用**********？触控屏幕的人机互动操作系统计算机控制系统
*可完成最大*英寸圆片或*英寸方片作业手动上下料
*可实现温度根据环境变化自动调节功能
*密码保护功能
*台面材质与尺寸：**英寸方形阳极氧化铝
**温度设定最小精度：*.*℃
**温度可设定范围：室温到***℃
**温度均匀性：在热板表面测量允许误差+/**.*%
**设备具备温度程序设定曲线升温功能
*** 设备具备定时升起顶针功能
***设备具备自动测量并显示工作环境温度，湿度功能
**设备异常时将发出警报声提示
**四种烘烤方式：接触式，悬浮式，真空吸附，顶针式

采购清单*

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
电子束胶专用匀胶机	*	台	电子工业生产设备无无

品牌品牌*
型号
品牌*
型号
品牌*
型号
预算单价	￥*,.*
技术参数及配置要求	* 不锈钢机身（抗化学腐蚀，容易清洗） * 使用*********？操作系统计算机控制系统具备强大人机界面和数据连通能力英寸全色触摸屏该设备适用于最大英寸圆片作业手动上下料透明丙烯酸的机盖，可观察工艺全过程。 * 排气、排水位于****水平线下（保证均匀性并可调节）排气装置、真空、排水、电等位于设备后部 * *控制晶圆专用真空卡盘套装套（/英寸、/*英寸、/英寸、/英寸、.英寸、.*英寸，可针对碎片，英寸，英寸，英寸圆形晶圆使用）用户图像界面无穷组工艺程序可设定密码保护设定 * 转速可设定范围：**,* * * 加速度：* ,* /（空载情况下） * ,* /（英寸硅片装载情况下）转速误差精度: ; .* * * 转速可设定最小精度**; .* * * 卡盘马达可顺时针、逆时针旋转 ** 时间设定精度.秒（,*.秒最大）匀胶均匀性：衬底为毫米圆形硅片，微米胶厚时±%以内。间接无刷交流伺服驱动电机（防止污染化学物直接进入电机内部）真空盖子安全自锁(未盖密闭报错提醒) 自动真空自锁(硅片真空未吸附，报错提醒) 设备异常时将发出警报声提示 ** 匀胶腔体底部曲面倾斜式，减少光刻胶的堆积，减少反溅，减少维护保养次数，并且带有套可更换内衬，方便使用者定期清洗保养。 * 设备具备自动测量并显示工作环境温度，湿度功能浙江大学 ******** ::

附件下载：

我已阅读并同意《浙江大学项目参与须知》

请各位供应商慎重报价，确认完全符合采购人商务、技术及合同（详见***.****.***.**,下载中心，各类合同模版）要求，且供应商响应的商务、技术及合同要求须与采购人提出的商务、技术及合同要求完全一致，不允许负偏离，亦不可正偏离。成交后，以任何理由不签署合同，或者签署合同后不按照合同履约，均将列入陕西师范大学供应商违规失信行为名单，三年内禁止参加陕师大非政府采购项目。若因此引起法律纠纷，请向陕西省西安市雁塔区人民法院提起诉讼。

报价人若成为该项目成交供应商后自行放弃成交资格、或不签订采购合同、或不履行合同约定、或存在相互串通现象等违反采购相关法律法规的行为，
三年内不得参与学校网上竞价采购项目，并承担由此引起的相应法律责任。

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