高分辨率投影光刻机评审结果公示

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*.项目名称：高分辨率投影光刻机

*.采购内容：高分辨率投影光刻机

*.项目编号：*****************

*.采购方式：单一来源采购

*.采购会议开始时间：****年*月**日*时**分

*.采用单一来源采购方式的原因及相关说明；

此次采购的高分辨率投影光刻机主要用于碲镉汞红外探测器光刻曝光工艺。随着像元阵列的增大及像元间距减小的发展需求，需购置高分辨率投影光刻机。现有的大面阵小间距红外焦平面探测器制备工艺中，采用的接触式光刻机会硌伤材料，且分辨率及对准精度较低，无法较好的满足*微米及以下像元间距探测器芯片的工程研制需求。高分辨率投影光刻机可以减少图形失真，扩大工艺窗口，保证光刻质量和稳定性，提升红外焦平面探测器器件的一致性，提升探测器器件性能。经调研，国内中国电子科技集团公司第四十五研究所的*.**μ*分辨率的高分辨率投影光刻机满足需求，其余厂家不具备，无法满足项目需求。综上，拟以单一来源形式采购中国电子科技集团公司第四十五研究所的高分辨率投影光刻机。

*.拟采购标的物说明及价格

*.拟定的唯一供应商信息

（*）供应商名称：中国电子科技集团公司第四十五研究所

（*）注册地址：北京经济技术开发区泰河三街*号

（*）统一社会信用代码：******************

（*）法定代表人：李志宇

*.采购人信息

（*）名称：中国电子科技集团公司第十一研究所

（*）地址：北京市朝阳区酒仙桥路*号

（*）联系人：邱老师

（*）电话：************

**.采购代理机构信息

（*）名称：中化商务有限公司

（*）地址：北京市丰台区丽泽路**号院平安幸福中心*座**层

（*）联系人：柯经理 *#***; 中化项目经理签名

（*）电话：***********

**.公示时间：****年*月**日至****年*月*日

**.提出异议的渠道和方式：供应商或者其他利害关系人对采用单一来源采购方式公示有异议的，或对评审结果有异议的，须在公示期内将经授权人签字并加盖公章的书面异议函以传真或电子邮件形式发送至如下联系人，如未提供经授权人签字并加盖公章的异议函，将被视为无效异议。

联 系 人：柯经理中化项目经理签名

联系电话：***********

电子邮箱：********@********.***

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中化商务有限公司

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