原子层沉积机（HITSZWJ260002）延期公告
2026-02-27
广东/深圳 变更澄清
原子层沉积机（HITSZWJ260002）延期公告
广东/深圳-2026-02-27 00:00:00
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广东/深圳-2026-02-27 00:00:00
原子层沉积机（*************）延期公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：***次
延期信息
| 延期理由： | 由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至********** **:** 因报价情况不满足要求，采购方决定延期 | ||
|---|---|---|---|
| 项目名称 | 原子层沉积机 | 项目编号 | ************* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ********** **:**:** | 公告截止日期 | ********** **:**:** |
| 采购单位 | 哈尔滨工业大学（深圳） | 付款方式 | 预付款**%，到货验收后尾款**% |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后**日内 | 到货时间要求 | 签约后***个日历日内 |
| 预算总价 | ￥***,***.** + + 未公布 | ||
| 收货地址 | 哈尔滨工业大学（深圳）理学楼 | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 ;请供应商认真阅读竞价需求文件，本项目指定品牌，报价必须上传相应文件，否则为无效报价。 (必选) |
||
| 公告说明 | 由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至********** **:** | ||
采购清单*
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 原子层沉积设备 | * | 台 | 其他机械设备 无 无 |
| 品牌 品牌* | 嘉兴科民电子设备技术有限公司 |
|---|---|
| 型号 | ******** |
| 品牌* | 苏州美图半导体技术有限公司 |
| 型号 | ******** |
| 品牌* | 嘉兴市北加州电子科技有限责任公司 |
| 型号 | ********* |
| 预算单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
*.腔室：独立的内外嵌套双腔结构，内腔安装在外腔内； *.外腔：真空加热腔，对整个内腔进行加热，外层设置有水冷循环装置；内侧设有多层热反射装置，提高内腔升温效率，外腔设置有维护口，方便打开维护； *.内腔：可拆卸内反应腔，负责工艺执行。需要维护时，可直接将整个内腔取下更换维护。压差自压合机构可使内腔腔盖与内腔腔体自动压合密封； *.内腔最大可放置直径*英寸晶圆，向下兼容，标配两套内腔，高温、低温、特殊工艺内腔可选； *.反应温度：最高***℃（低温内腔***℃），*套低温工艺内腔******℃；*套高温工艺内腔*******℃，可自由搭配，温度控制精度±*℃； *.*路标准加热液态前驱体源，配置高温快速***阀（响应时间＜****）、手动阀、****不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度******℃，控制精度±*℃； *.*路常温源，配置快速***阀（响应时间＜****）、手动阀、****不锈钢源瓶； *.预留：预留*个臭氧接口； *.在 * 英寸硅晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积 *** 循环氧化钛，以晶圆上至少*个均匀分散点进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±*%为合格；； |
| 售后服务 |
********** **:**:**
请各位供应商慎重报价，确认完全符合采购人商务、技术及合同（详见***.****.***.**,下载中心，各类合同模版）要求，且供应商响应的商务、技术及合同要求须与采购人提出的商务、技术及合同要求完全一致，不允许负偏离，亦不可正偏离。成交后，以任何理由不签署合同，或者签署合同后不按照合同履约，均将列入陕西师范大学供应商违规失信行为名单，三年内禁止参加陕师大非政府采购项目。若因此引起法律纠纷，请向陕西省西安市雁塔区人民法院提起诉讼。
报价人若成为该项目成交供应商后自行放弃成交资格、或不签订采购合同、或不履行合同约定、或存在相互串通现象等违反采购相关法律法规的行为，
三年内不得参与学校网上竞价采购项目，并承担由此引起的相应法律责任。
三年内不得参与学校网上竞价采购项目，并承担由此引起的相应法律责任。
原子层沉积机（*************）延期公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：***次
延期信息
| 延期理由： | 由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至********** **:** 因报价情况不满足要求，采购方决定延期 | ||
|---|---|---|---|
| 项目名称 | 原子层沉积机 | 项目编号 | ************* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ********** **:**:** | 公告截止日期 | ********** **:**:** |
| 采购单位 | 哈尔滨工业大学（深圳） | 付款方式 | 预付款**%，到货验收后尾款**% |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后**日内 | 到货时间要求 | 签约后***个日历日内 |
| 预算总价 | ￥***,***.** + + 未公布 | ||
| 收货地址 | 哈尔滨工业大学（深圳）理学楼 | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 ;请供应商认真阅读竞价需求文件，本项目指定品牌，报价必须上传相应文件，否则为无效报价。 (必选) |
||
| 公告说明 | 由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至********** **:** | ||
采购清单*
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 原子层沉积设备 | * | 台 | 其他机械设备 无 无 |
| 品牌 品牌* | 嘉兴科民电子设备技术有限公司 |
|---|---|
| 型号 | ******** |
| 品牌* | 苏州美图半导体技术有限公司 |
| 型号 | ******** |
| 品牌* | 嘉兴市北加州电子科技有限责任公司 |
| 型号 | ********* |
| 预算单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
*.腔室：独立的内外嵌套双腔结构，内腔安装在外腔内； *.外腔：真空加热腔，对整个内腔进行加热，外层设置有水冷循环装置；内侧设有多层热反射装置，提高内腔升温效率，外腔设置有维护口，方便打开维护； *.内腔：可拆卸内反应腔，负责工艺执行。需要维护时，可直接将整个内腔取下更换维护。压差自压合机构可使内腔腔盖与内腔腔体自动压合密封； *.内腔最大可放置直径*英寸晶圆，向下兼容，标配两套内腔，高温、低温、特殊工艺内腔可选； *.反应温度：最高***℃（低温内腔***℃），*套低温工艺内腔******℃；*套高温工艺内腔*******℃，可自由搭配，温度控制精度±*℃； *.*路标准加热液态前驱体源，配置高温快速***阀（响应时间＜****）、手动阀、****不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度******℃，控制精度±*℃； *.*路常温源，配置快速***阀（响应时间＜****）、手动阀、****不锈钢源瓶； *.预留：预留*个臭氧接口； *.在 * 英寸硅晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积 *** 循环氧化钛，以晶圆上至少*个均匀分散点进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±*%为合格；； |
| 售后服务 |
********** **:**:**
请各位供应商慎重报价，确认完全符合采购人商务、技术及合同（详见***.****.***.**,下载中心，各类合同模版）要求，且供应商响应的商务、技术及合同要求须与采购人提出的商务、技术及合同要求完全一致，不允许负偏离，亦不可正偏离。成交后，以任何理由不签署合同，或者签署合同后不按照合同履约，均将列入陕西师范大学供应商违规失信行为名单，三年内禁止参加陕师大非政府采购项目。若因此引起法律纠纷，请向陕西省西安市雁塔区人民法院提起诉讼。
报价人若成为该项目成交供应商后自行放弃成交资格、或不签订采购合同、或不履行合同约定、或存在相互串通现象等违反采购相关法律法规的行为，
三年内不得参与学校网上竞价采购项目，并承担由此引起的相应法律责任。
三年内不得参与学校网上竞价采购项目，并承担由此引起的相应法律责任。
请各位供应商慎重报价，确认完全符合采购人商务、技术及合同（详见***.****.***.**,下载中心，各类合同模版）要求，且供应商响应的商务、技术及合同要求须与采购人提出的商务、技术及合同要求完全一致，不允许负偏离，亦不可正偏离。成交后，以任何理由不签署合同，或者签署合同后不按照合同履约，均将列入陕西师范大学供应商违规失信行为名单，三年内禁止参加陕师大非政府采购项目。若因此引起法律纠纷，请向陕西省西安市雁塔区人民法院提起诉讼。
报价人若成为该项目成交供应商后自行放弃成交资格、或不签订采购合同、或不履行合同约定、或存在相互串通现象等违反采购相关法律法规的行为，
三年内不得参与学校网上竞价采购项目，并承担由此引起的相应法律责任。
三年内不得参与学校网上竞价采购项目，并承担由此引起的相应法律责任。
