*. 真空系统
• ****材质不锈钢圆球形腔体，直径≥*** **，表面电解抛光处理；
• 配备分子泵（抽速≥*** */*）和前级干泵（抽速≥**.* *^*/*）；
• 腔室与分子泵之间配备手动隔离的闸板阀；
• 配备前级阀和粗抽阀；
• 全量程真空计，测压范围：* * **^** **** * * ***；
• 工艺真空计，测压范围；* * **^** **** * * ****；
*. 激光加热样品台
• 四维运动样品台，手动***线性运动，其中*/*方向行程±**.***，*向⾏程** **；步进电机控制的样品台连续旋转运动；步进电机控制的样品台挡板开关；
• 红外半导体激光器加热模块，波长*****，激光功率****，配有独立的水冷机；
• 最大加热区域*英寸，最高加热温度：**** ℃，温度稳定性：±* ℃；
• 配备直流加热程控电源和温度控制器；
• 红外测温计测量样品加热温度，测温范围：********℃；
*. 靶台
• *个*寸靶位，可插拔式靶托，配备防止交叉污染的靶台保护罩；
• 步进电机控制的靶位自转，转速****转可调；
• 带编码器步进电机控制的靶位公转和靶位摇摆；
*. 气路
• *个工艺管路，包括*个**流量计（量程******）和*个**流量计（量程******）；
• 每个流量计前面均配有气动截止阀；
• *个**放气管路和气动截止阀，用于设备破真空；
• *个**进气管路和气动截止阀，用于高氧压退火；
*. 准分子激光光路
• 铝型材准分子激光器支架、铝合金光路组件和亚克力激光辐射防护罩；
• *个**°*****反射镜，*个**.*°*****反射镜及配套镜架；
• *个长、宽方向连续可调的光阑；
• *套组合聚焦透镜及镜架；
• 聚焦光斑尺寸≤*****^*，能量密度≥**/**^*；
*. 电气控制
• 专用***控制软件；
• 所有电气控制盒均集成到设备机架内；
• 控制样品目标温度，升降温速度，样品台旋转，样品台挡板开关等；
• 控制靶台的自转、公转、摆动等；
• 控制准分子激光器的触发开关、脉冲频率、脉冲次数等
