序号

项目名称

建设地点

建设单位

环境影响评价机构

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

*

**英寸**～*****深槽隔离车规级***制造工艺研发和产业化项目

厦门市海沧区兰英路**号

厦门士兰集科微电子有限公司

厦门尚岛环保科技有限公司

士兰集科公司拟在现有**英寸厂房内增加设备投资*****万元，在现有芯片生产线及配套设施的基础上，通过购置干法刻蚀机、化学气相沉积设备、退火炉、炉管、溅射台等生产设备进行产能扩充，投资建设“**英寸**~*****深槽隔离车规级***制造工艺研发和产业化项目”，新增规模为年产*.*万片**英寸***工艺车规级芯片（其中含砷外延工序产能*.*万片/年），并依托现有化镀设备对增加的芯片进行化镀镍、钯、金，增加含钯废液回收钯工序，取消现有工程原环评***（含砷）工序（实际未建设，后续取消）。该项目建成后，士兰集科公司总产能为：年产***万片**英寸半导体芯片。本项目不新增员工，实行连续运转工作制，全年工作***天，每天工作**小时，设备年时基数****小时，建设工期：*个月（****年*月~****年*月）。

项目生产过程中主要环境问题为废水、废气、噪声、固废排放对周围环境的影响。

一、施工期：

*、环境影响：①安装设备（吊装设备等）噪声；②运输车辆扬尘；③设备安装焊接烟尘；④设备调试产生废机油、废抹布处置；⑤设备包装材料处置等。

*、保护措施：①对吊装等施工联络方式，不得通过鸣笛或者敲击钢管等高噪声联络方式，而应采用旗帜、无线电通信等方式。②运输车辆在行驶途中经过敏感路段，应限制行车速度，夜间禁鸣喇叭，车辆出入现场时严禁鸣笛。③设备调试产生的废机油就单独收集，作为危险废物委托处置。④设备安装产生废包材，根据材质不同分类收集，可回收部分外卖给相应回收商，不可回收部分按一般固废处置。

二、运营期：

*、环境影响：

（*）大气环境：本项目废气包括酸性废气、工艺废气（含磷化氢、氟化物、氯气等）、工艺废气（含砷废气）、有机废气、碱性废气、外延酸性废气、废水站臭气等。

（*）水环境：本项目废水包括酸碱废水、含氟废水、含氨废水、有机废水、研磨废水、回收水、含砷废水、含镍废水、含钯金废水、公辅系统排水、生活污水等。

（*）声环境：本项目公用设施和辅助设施均依托现有工程，本工程拟增加部分生产设备以及*套钯回收装置，分别设于**英寸厂房内和无机废液间内。

（*）固体废物：本项目运营过程中主要固体废物是一般固体废物和危险废物。①一般工业固废包括废纸类、废塑料类等废包装物、废水处理系统一般污泥、废**膜、废研磨垫、废硫酸铵、废制纯水树脂和废活性炭、废芯片等，分类暂存在资源回收站一般固废贮存间，定期委托有主体资格单位回收利用。②本项目产生的危险废物包括废显影液、含氟废液、废有机溶剂、化学品废包装物、化学品废液、废润滑油、废酸液、废活性炭、废汞灯、废吸附树脂、废滤芯废布袋（含砷）、含砷污泥、含镍废物、含钯废物、含金废物等，暂存在资源回收站危险废物储存区（包括废液间、空桶间、其他危废间）及废液收集区，定期委托有资质单位处置。

（*）地下水环境：项目可能对地下水产生污染的途径来自：废水收集管道、废水处理站、化学品库、生产车间、废液收集区、资源回收站等，若没有采取防渗措施或防渗建设不理想，导致物料中有害成分或废水渗漏到地下含水层而污染地下水。

（*）土壤环境：本工程根据场区各生产功能单元可能产生污染的地区，结合地下水污染分区防治措施，采取不同的防渗措施，对厂区可能泄漏污染物的地面进行防渗处理，可及时地将渗漏的污染物收集并进行集中处理，防止发生“跑、冒、滴、漏”现象时污染土壤环境；本工程产生的固体废物全部得到有效处置，可避免项目产生的固体废物对土壤环境造成二次污染。另外，本工程产生的废气经采取有效治理设施净化处理后，可达标排放。

（*）环境风险：①本项目环境风险潜势为Ⅲ级，环境风险等级为二级。②由有毒有害物质在大气中的扩散模型及预测结果可知，磷烷发生泄漏事故时，磷烷预测点浓度未达到毒性终点浓度**、毒性终点浓度**，周边敏感目标均不在相应考量指标浓度范围内。氯气发生泄漏事故时，氯气达到毒性终点浓度**的最大影响范围为泄漏点外***内，达到毒性终点浓度**的最大影响范围为泄漏点外****内；毒性终点浓度**的影响范围内无敏感点，毒性终点浓度**范围内的敏感点温厝氯气最大浓度值为*.****/*³、雍厝公寓氯气最大浓度值为*.****/*³。氨气发生泄漏事故时，氨气预测点浓度未达到毒性终点浓度**、毒性终点浓度**，周边敏感目标均不在相应考量指标浓度范围内。氯化氢发生泄漏事故时，氯化氢达到毒性终点浓度**的最大影响范围为泄漏点外***内，达到毒性终点浓度**的最大影响范围为泄漏点外***内；周边敏感目标均不在相应考量指标浓度范围内。③非正常工况排放情况下，全厂有组织排放源排放的各类废气污染物的地面浓度均有较大幅度增量，其中氟化物最大落地浓度占标率***.**%，超过《环境空气质量标准》（** *********）附录*表*.*浓度限值，对周边环境空气及敏感点的影响较大。因此，建设单位应加强环保设施管理和维护，杜绝废气处理设施出现事故性排放。④异丙醇储罐破裂泄漏发生火灾产生次生污染物**，在不利气象条件下，在事故发生点下风向****达到毒性终点浓度**，在事故发生点下风向****达到毒性终点浓度**；周边敏感目标均不在相应考量指标浓度范围内。⑤本项目危险化学品泄漏对地表水环境影响较大并具有代表性的事故类型为火灾爆炸物料泄漏以及产生的消防用水进入地表水环境，造成地表水环境污染。企业设有足够容积的事故应急池及配套引流管网。当企业发生火灾爆炸物料泄漏时，及时切断雨水排口，并采取收集和封堵措施，可通过应急水泵和管道将泄漏物料和消防废水导入厂区应急池内，排入厂区外环境的概率极小，不会对受纳水体等地表水体产生影响。⑥本项目突发环境事件对地下水环境影响较大并具有代表性的事故类型为污水处理站废水泄漏导致进入地下水环境。本项目所在区域不属于地下水环境敏感地区。本项目生产、生活用水全部采用自来水，不取用地下水，不会对区域地下水的水位、水量产生影响。厂区按重点污染防治区、一般污染防治区和非污染防治区进行分区防渗，各个可能污染地下水的区域经防腐防渗设计后，基本不会产生污水下渗污染地下水。⑦建设单位应建立健全的环境风险管理制度，针对厂区可能发生有毒有害物质泄漏或环境风险事故的区域设置监控预警措施，同时针对可能存在的环境风险配备相应的风险防范措施以及应急措施。

*、保护措施：

（*）废气治理措施：①酸性废气中工艺废气先经“*** ***** ********+水洗”装置处理后与其他酸性废气经碱液喷淋洗涤塔（**套，*用*备）处理达标后再经*根排气筒排放，排气筒高***；②有机废气经密闭管道收集后引至厂房屋面，采用*套转轮浓缩+焚烧系统（备用*套活性炭吸附装置）处理达标后由*根排气筒排放，排气筒高***；③碱性废气采用酸液喷淋洗涤塔（*套，*用*备）处理达标后，由*根排气筒排放，排气筒高***；④外延酸性废气经“******** ********+水洗”处理后，再进入碱液喷淋洗涤塔（*套，*用*备）处理达标后，经*根排气筒排放，排气筒高***；⑤工艺废气（砷化氢）经*套“***干式吸附+袋式过滤”装置处理达标后，经*根排气筒排放，排气筒高***；⑥废水处理站废气采用*套两级喷淋除臭装置处理后，由*根***排气筒排放。

（*）废水治理措施：①酸碱废水采用“二级酸碱中和反应”处理；②含氨废水采用“吹脱+硫酸吸水法”处理后，再排入含氟废水处理系统进一步处理；③有机废水采用“二级*/*生化法”处理；④含氨废水采用“吹脱+硫酸吸水法”处理，再排入含氟废水处理系统进一步处理；⑤研磨废水采用“混凝沉淀法”处理；⑥回收水采用“活性炭过滤+**反渗透装置”工艺处理后，上清液回用于初纯水系统，尾水排入酸碱废水处理系统进一步处理；⑦含砷废水采用“三级化学混凝沉淀+过滤+**”处理；⑧含镍废水采用“两级化学混凝沉淀+回收系统”处理后，再排入含氟废水处理系统进一步处理；⑨含钯金废水采用“两级树脂吸附法”处理后，再排入含氟废水处理系统进一步处理。

（*）噪声污染防治措施：①选购低噪声设备，合理布置噪声源，室内主要噪声源安装基础减振垫减振处理，并通过车间墙体阻挡噪声传播。②加强对所有设备的维护和日常维护管理，维持设备处于良好的运转状态，避免因设备不正常运转而产生高噪声现象。

（*）固体废物污染防治措施：①项目产生的一般工业固废收集后，分类存放在资源回收站内一般固废暂存点，面积约*****，定期外售给有主体资格的回收厂家回收处理。一般工业固体废物分类存放，按相关要求设置环境保护图形标志，并建立健全工业固体废物产生、收集、贮存、运输、利用、处置全过程的污染环境防治责任制度，建立工业固体废物管理台账。②项目产生的危险废物分类存放在资源回收站内的危险废物储存区（*****），分为废液间、空桶间、其他危废间等，以及厂房内的废液收集区（*****），危险废物贮存点做到防风防雨防晒，地面和裙角进行防腐防渗，容器及材质满足相应的强度要求，装载危险废物的容器完好无损，做好危险废物情况的记录，进行封闭管理，专人管理，设置警示标识，设置围堰、地面采取防腐防渗措施，做到防扬散、防流失、防渗漏等。

（*）地下水、土壤污染防治措施：①重点污染防治区（厂房一层生产区和废水处理站、仓库、废液收集区、资源回收站）基础采取地面硬化、铺设环氧地面等防渗措施，以及对废水处理站、事故池及初期雨水池等基础采取底面硬化、池体内壁铺设环氧树脂等防渗措施，防渗系数满足**^*****/*。②一般污染防治区（综合动力站、特气站等），采取地面硬化、铺设环氧地面等防渗措施，防渗系数满足*≤*×**^****/*。

（*）环境风险防范措施：本工程环境风险措施均依托现有工程，项目厂区内生产车间、仓库及厂房化学品供应间均已设置防溢堤；项目废水处理站设置*个废水事故应急池，总有效容积******；厂区四周配套建设有总容积为*****的初期雨水收集池（*******）和总容积为******（*****+*****+*****+*****）的地面雨水收集池，厂区还配套建设一个******的消防废水收集池，所有事故应急池及雨水收集池、消防废水收集池均可通过管道连通。雨水排放口设置阀门；配备消防及泄漏应急物资及应急设备；设有毒/可燃气体报警系统*套。项目厂区内做好各类风险单元的防范措施，且已编制应急预案。