【分散采购备案单】球差校正环境透射电镜(****)供气系统

项目概况

采购货物信息列表

序号	货物（服务）名称	数量	计量单位	预算单价
*	球差校正环境透射电镜(****)供气系统	*	套	******
	技术参数	供气系统主要技术参数指标： *、气路供气系统 *)供气系统应采用室内外分区设计，室内配置氧气及备用气路，共 * 条气路；室外配置可燃及惰性气体气路，共 * 条，其中至少 * 条惰性气体气路具备连续不间断供气能力，并与电镜配套真空泵系统匹配。 *)室内气源采用 ** 钢瓶，供气压力 *～**.* ***；室外气源采用 *** 钢瓶，供气压力 **.*～** ***。 *)系统应提供不同特气钢瓶接口转换接头，室外气瓶区应配置外立面防护结构及通风风扇。 *)气源入口应设置切断阀和放空阀，进气端采用高压软管连接，氢气等易燃气体不得采用非金属引压管。 *)各类气体放空管线应引至室外，并分开排放。 *)管路之间采用焊接连接，减压器进口阀组采用卡套连接，出口阀组采用 *** 连接。 *)减压器出口调压范围应为 *~** ***，出口手动隔膜阀耐压应大于 * ***，减压器接口规格为 */*”***。 *、气体输送系统（进入混气柜前） *)主体输送管线应采用 */* ** ** 级不锈钢管，一氧化碳气路应采用铜管以降低吸附影响。 *)管线之间采用焊接连接，管线与阀门之间采用 *** 连接，系统中不得使用卡套及其他形式接头进行密封连接。 *)管线应根据现场条件沿墙面、顶棚铺设，穿墙处设置套管并可靠密封，同时保留必要柔性连接，避免影响房间洁净等级及电镜运行稳定性。 *)系统应配置真空置换系统和置换阀组；真空泵采用双级排气，最大排气速率不低于 ** */***，极限真空度不高于 **** **，前置过滤器精度为 ** μ*，并具备远程启停功能。 *)置换阀组采用隔膜阀，接口为 ***，耐压等级不低于 *.* ***。 *、气体配置控制柜（混气柜） *)混气柜应采用一体化集成控制设计，配置 * 路气体控制通道，并集成进口截止阀、减压器、单向阀、电磁截止阀、手动隔膜阀、过滤器、真空规及电动程控阀等组件；除排空气路外，所有气路连接均采用 *** 方式。 *)每条气路应配置化学吸附式脱水脱氧单元，其中氧气气路仅配置脱水单元；脱水脱氧单元使用寿命应大于 **** *（供气纯度 >**），水氧净化精度应小于 *.* ***。 *)二级减压阀出口调压范围应为 *～** ***；过滤器精度应为 *.*** μ*，颗粒净化效率应大于 **.***%，接口为 */* ***。 *)流量控制采用质量流量计，量程为 *～** **/***，耐压 *.* ***，采用同一气体标定，并提供其他气体相对该气体的转换系数，可直接在操作系统中调用，无需重新标定。 *)电磁阀供电电压应为 ** *，接口为 */* ** ***，耐压等级为 *.* ***，泄漏率应小于 *×**⁻⁸ ***·**/*** **。 *)净化后管线应设置两段伴热，柜内温度范围 *～***℃，靠近电镜端温度范围 *～***℃。 *)系统应配置水蒸气发生单元，蒸汽进给压力范围 *～*.* ***，控温范围 **～**℃，温控精度 *.*℃，并配置进出口截止阀、安全阀、泄放阀及真空抽吸口。 *)系统应具备多气路混气功能，混合气体按比例送入电镜，余气进入排空系统；排空端设置防返混阀。 *)进入电镜前的气压控制应采用薄膜真空规与真空程控阀联合实现，真空规量程 *~*.* ***，进入电镜前气压应小于 *.* ***，控制精度达到 * ****；真空程控阀前及旁路配置电磁阀，接口均为 */* ***，真空程控系统优选进口产品。 *)混气柜应配置 *** 集成控制系统，具备多通道通讯、远程通信和信号交互能力，并提供一套可视化气体流量与气压控制软件，实现参数显示、运行控制及状态监视。 *、进气系统（混气柜和电镜间） *)电镜进气段应采用柔性金属波纹管穿过设备壳体与电镜进气口连接，并在满足刚度和置换效率的前提下尽量缩短波纹管长度，以减小对电镜的振动干扰。 *)进气管线应采用 **** ** 级管材铺设，并配置加热线圈，伴热控温范围为常温~***℃。 *)接口形式采用波纹管 ***。 *、上位机控制系统 *)系统应在电镜操作间配置一套可视化远程控制软件，用于对供气系统运行状态进行远程控制和监视。 *)系统应至少实时显示并记录以下参数：进入电镜前的气压、混气柜各气路流量、伴热带温度及蒸汽发生器温度。 *)系统应具备历史记录查询功能，并支持多种工况程序控制。 *、排空系统 *)排空系统应设置两条独立支线，分别用于真空泵排空和控制柜排空。 *)根据安装位置和现场布局要求，可采用不锈钢管和 *** 管组合铺设；不锈钢排空管管径为 */* **，耐压不低于 *.* ***；*** 排空管管径为 ****，耐压不低于 *.* ***，连接方式为水胶粘接，材料应为阻燃型。 *)系统应自带 * 台真空泵，并同时预留与电镜配套真空泵的连接接口，其中电镜配套真空泵仅用于电镜尾气排放。 *)排空系统安装时应采取有效减振措施，避免振动传递至电镜。 *、安全监控 *)系统应配置室内、室外两套安全监控单元，用于监测氧气浓度、可燃气体浓度及有毒气体浓度。 *)室内监控点设置于混气柜附近，具备报警功能，并能在气源控制柜断电后继续工作；控制柜开机时，报警数据应可记录至电镜操作间计算机。 *)室外监控点设置于气瓶间，除报警功能外，还应具备与气瓶间风机联动的能力，在断电状态下仍可报警并启动换气扇。 *)氧气报警应为双阈值报警，上限 **%，下限 **%；可燃气体报警阈值为相应气体爆炸下限的 *% ***（以 *₂ 为例，对应报警浓度 **** ***）；有毒气体以 ** 为例，报警点为 *** ***。 *)系统应联动气瓶间风扇，风扇规格为 ***×*** **²，风量 **** *³/*。 *、安装调试 *)供应商应负责系统安装、调试及验收配合工作。 *)在安装和调试过程中，应采取有效措施减少对电镜运行环境的额外干扰。 *)供应商应配合电镜工程师开展气路相关干扰排查、联调和优化，直至满足设备运行要求。 *、售后维保 *)设备质保*年（净化管质保*年）。在质保期内，对非人为原因损坏的主体部件，气路方需负责免费更换且在*小时内响应解决问题。 *)气路方需要协助做好对整套气路的后期安全维护。且终身设备负责维修，提供设备备品、备件。
	相关材料	****气路技术参数*****.****