*、**轴移动平台指标 * 移动范围：*****×***** * 移动分辨率：*μ*（*.******） * 定位重复性：≤*μ*（*.******） * 移动速度：＞****/***（***./***） * 马达驱动系统：配备交叉滚子五相步进电机 * 反馈系统：配置分辨率*μ*的闭环光学线性编码器 * 标准动作移动时间：≤*****（标准流程：***μ* *轴下移 * ****μ* **轴移动 * ***μ* *轴上移） *、*轴移动平台指标 * 移动范围：*** * 移动分辨率：*μ* * 定位重复性：*μ* *、 *****旋转平台指标 * 转动范围：±*.*° * 定位重复性：*μ* * 、软件控制功能指标 * 移动模式：兼容步进移动、快速移动两种工作模式，满足不同场景使用需求 * 位置显示：实时显示****四轴当前坐标数值，支持自定义点位归零操作 * 模式切换：支持软件一键快捷切换自动与手动移动模式，操作简便高效 *、搭载 * 寸圆形镀镍多孔载物台，台面平整度≤**μ*；样品台手动移动行程为 *****×*****。 *、采用增大型载物平台面，可同时容纳 * 个射频针座；配备多探针快速定位结构及探针射频测试装置，实现信号快速接入待测器件。 *、设备配备 *** 紧急停止装置，可实现紧急安全停机，保障操作人员人身安全。 *、采用抽拉式可外移载物台结构，载物台可完全抽出至腔体外部，便于晶圆取放操作。

*. 按行业标准提供服务； *. 严格参数要求不得更改技术参数指标； *. 需要现货中标,中标后*天能提供； *. 提供货品时，需同步搭建显微观测环境，实时演示芯片显微成像。