深圳医学科学院洁净室光刻机/激光器/TEL二次配及特气改造项目（FS-BX-260032号）采购公告
2026-04-16
广东/深圳 招标采购
深圳医学科学院洁净室光刻机/激光器/TEL二次配及特气改造项目（FS-BX-260032号）采购公告
广东/深圳-2026-04-16 00:00:00
广东/深圳-2026-04-16 00:00:00
| 项目名称 | 深圳医学科学院洁净室光刻机/激光器/***二次配及特气改造项目 | 项目编号 | ************号 |
|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | ********** **:**:** | 公示截止日期 | ********** **:**:** |
| 采购单位 | 深圳医学科学院 | 付款方式 | 分阶段付款：预付**%，完成施工后付**%，改造项目拿到验收合格后**个工作日内付剩余**% |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 到货时间要求 | |
| 预算 | ￥***,***.** | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
供应商基本情况表 (必选) |
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| 收货地址 | |||
采购清单*
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 医科院光刻机激光器***设备二次配项目 | * | 项 | 其他工程总承包服务 |
| 品牌 | |||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | |||
| 预算 | ¥***,***.** | ||
| 技术参数 | ****光刻机/激光器/***二次配（含气体、冷却、电气、排气、纯水、排水接口对接） 气体接口二次配：将改造后的氮气、高纯氮、氦氮混合器、氟氪氖、氪氖、氦气、压缩空气等输送系统与光刻机专用气体（共**气体供应管道）接口精准对接，配置专用***接头（泄漏率≤*×**^****/*），接口压力与光刻机需求匹配（*.***.****）；每条气体管路末端加装**阀盘（成套包括隔膜阀/球阀、减压阀、压力表），已便观察供气状态。单根气体管道长度约**米。 冷却接口二次配：对接***冷却水系统与光刻机、***、激光器等共计*路***冷却回路，原系统管道****扩充约**米，新增****支管约**米，管道材质采用*******材质，末端采用橡胶高压软管（品牌熊猫、天津华伟、鹏宇）（耐压≥*.****，无溶出物），管路长度≤**，减少流阻；每个活路安装流量调节阀（调节范围******/***），满足光刻机散热需求。 电气接口二次配：完成光刻机、激光器动力电源（****三相五线制）、***（****，需配备****变压器）电源、控制信号线缆（屏蔽双绞线）的敷设与对接，线缆穿管防护（材质为***不锈钢），防护等级达到****；动力线缆载流量≥***，控制信号线缆传输延迟≤****，确保设备电气系统稳定运行。包含但不限于：变压器、电缆（品牌金龙羽、上上、宝胜，单条线路长度约**米）、开关箱、断路器（施耐德、***、西门子）、电缆桥架、线管等材料的供应及安装服务。 排气接口二次配：完成光刻机、激光器、***所需工艺设备酸碱排放（**），一般排风（不锈钢），有机排风（不锈钢）接到对应工艺排系统共计**路（单根长度约**米），厂务点位不足时需加点，根据气体性质对风管材质进行选型每个末端设置手动风阀，检测口、风压表（品牌*****）方便调节风量观察负压情况。 纯水接口二次配：完成激光器、***纯水管道与厂务系统（管道材质****）的对接，包含管道、弯头、转接头等。 真空接口二次配：完成光刻机、***设备配备的真空泵的配电，管道连接等安装服务。 接口固定与防护：所有气体、冷却、电气接口采用防震支架固定，支架间距≤*.**，避免设备运行振动导致接口松动；接口区域加装防尘罩，防护等级****，防止洁净室颗粒物污染接口。 氟氪氖、氪氖、氦气、氦氮等气体输送系统优化升级 对现有氟氪氖、氪氖、氦气和氦氮供应系统的输送管路进行全面优化，更换为**** **级不锈钢管路（内壁电解抛光，粗糙度**≤*.*μ*，总长约***米），配套***密封接头，确保气体传输过程无杂质污染； 气体供应系统：增加供应一个单瓶全自动**柜，用于氟氪氖气体供应，包含但不限于，设备本体及使用所需的管道、电源、排气、排风等材料的供应及安装服务。增加一个高低压**吹扫气瓶架，用于**柜换瓶时的保压及吹扫。原实验室内氦氮混合器、氪氖混合器、氦气等共计*个气瓶柜的移位及安装，包含但不限于管道、阀门等材料的供应及安装。 每套系统配置高精度稳压减压阀（调节范围******，精度±*.*****），保障供气压力稳定；匹配****光刻机工艺需求。 气体侦测系统：增加**侦测器（品牌霍尼韦尔），包含侦测器，本体，过滤器，气管，信号线（**米），声光报警器（位于中控室）等的安装服务，保障用气安全。 尾气处理系统：增加一个干式吸附尾气处理设备，用于吸收**，并提供管道、排气、电源等安装服务。 系统整体调试与验证 二次配对接调试：启动****光刻机空载运行，测试气体接口供气稳定性（压力波动≤±*.*****）、冷却接口流量与温度稳定性（温度波动≤±*.*℃）、电气接口信号传输可靠性（无丢包、无延迟），确保各接口对接无误。 特气系统泄漏测试：完成所有改造后，对氟氪氖、氪氖、氦气、氮气和氦氮等所有高纯气体管路系统进行整体气体五项测试测试，确保无任何泄漏点，无杂质、无污染； 设备联动测试：模拟光刻机正常运行工况，验证特气供应、冷却水循环、电气控制的协同运行效果，连续运行**小时无异常报警； 精度校准：对每套特气系统的减压阀、流量稳定器进行精准校准，确保压力调节精度和流量稳定性符合设定要求；对泄漏侦测器进行灵敏度测试，验证联动机制响应时效性。 其它要求 *.品牌要求：见附件*品牌表，中标厂商所提供材料必须满足品牌要求。 *.资料要求：中标后需要提供针对现场实际情况报审施工方案及图纸。 *.工期要求：中标后*个工作日内材料到场并按要求完成光刻机/激光器/***二次配及特气改造工作。 *.其余要求：中标厂商需无条件配合设备厂商完成装机工作，包括但不限于协助设备厂家开墙洞，移动墙板，切地板，把液氮站接入现有氮气管网，配合设备内联管路顺利敷设。 *.售后维保：*、施工完成后，供应商需派驻人员驻场维保不少于*个月，待系统运行稳定且无质量问题后方可退场。*、如后期出现售后问题，供应商应在**分钟内响应，并派工程师**内到现场处理问题。 |
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| 售后服务 | 服务网点:当地;电话支持:****小时;服务年限:一年;服务时限:报修后*小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:*个月; | ||
深圳医学科学院
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