磁控溅射系统
2026-04-16
广东/广州 招标采购
磁控溅射系统
广东/广州-2026-04-16 00:00:00
广东/广州-2026-04-16 00:00:00
中山大学电子与信息工程学院磁控溅射系统采购项目
发布时间： ********** **:**
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项目概况
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | 中大招（货）[****]***号 | ||
| 项目名称 | 中山大学电子与信息工程学院磁控溅射系统采购项目 | ||
| 申购主题 | 磁控溅射系统 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | *** |
| 最高限价 | ***,***.**(人民币) | ||
| 报名及响应开始时间 | ********** **:** | 报名及响应结束时间 | ********** **:** |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 王老师 | 经办人电话 | ******** |
| 期望收货时间 | 合同签订后**天内交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | 东校园南实验楼**** |
| 电子签章 | 本项目需要使用**签字 **操作手册下载 | ||
| 备注 | *、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 *、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第*条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 *、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。*、本项目需要使用**证书，请供应商根据指引（****://*******.****.***.**/*******/****）提前办理**证书。 *、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。*、如为进口免税报价，报价产品或报价产品的原产国属于国务院关税税则委员会公告的加征关税范围的，该产品的评审价=[供应商的免税报价×（*+本项目通知磋商谈判开始时间的国务院关税税则委员会公告的加征关税税率）]，如高于项目最高限价/预算价，则报价无效。 | ||
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采购明细
| * 采购设备 | 磁控溅射系统 |
| 数量 | *台 |
| 参考品牌 |
“磁控溅射系统”技术要求
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| * | *.▲样品基台：支持直径 * 英寸及以下尺寸样品； | 非常重要 | 否 | 否 |
| * | *.反应腔室：*** 不锈钢材质，内部抛光处理； | 重要 | 否 | 否 |
| * | *.靶座系统：* 英寸圆形靶座*个，另预留*个靶位，位于腔室上部； | 重要 | 否 | 否 |
| * | *.传输系统：预留传输系统接口，机械手要求使用真空非气缸机械手，需提供传输方案； | 重要 | 否 | 是 |
| * | *.真空系统：不低于*****/*分子泵，不低于****/*机械泵； | 重要 | 否 | 否 |
| * | *.真空测量：工艺规*套，采用皮拉尼规，真空测量范围：大气至 ********** ，模拟量控制；冷阴极规*套，采用电离规，真空测量范围：******至**********，模拟量控制； | 重要 | 否 | 是 |
| * | *.▲气路系统：标配*路进气，氩气最大流量*******；氧气最大流量*******，氮气最大流量*******；管路配件采用进口***不锈钢**级管路；密封全部采用***连接；数字通讯控制； | 非常重要 | 否 | 是 |
| * | *.▲电源系统：*****直流电源*套，最大输出电流≥*.**，数字通讯控制；不低于****射频电源*套，频率为**.*****； | 非常重要 | 否 | 是 |
| * | *.▲样品载台：自转旋转*******无极可调；加热温度不小于：室温* ***℃，控温精度小于±*℃； | 非常重要 | 否 | 是 |
| ** | **.真空性能：本底真空优于*.*×******，系统漏率：≤*×******·**/*，需提供附件证明； | 重要 | 否 | 是 |
| ** | **.抽速测试：从大气抽到工作真空（****** **）时间少于**分钟（干燥环境下） | 重要 | 否 | 否 |
| ** | **.控制系统：工控机控制；菜单自动/手动操作； | 重要 | 否 | 否 |
| ** | **.▲互锁系统：要求具有软件互锁功能及独立的硬件互锁模块，硬件互锁模块为厂商独立自主开发控制，可以自主调节互锁开关，需提供证明； | 非常重要 | 否 | 是 |
| ** | **.★成膜质量：直径*英寸范围内均匀性优于±*%，以**靶材在通氩气情况下做工艺测试，样品直径为*英寸，镀膜厚度*****左右进行标定，以验证设备的各项参数）； | 重要 | 是 | 是 |
| ** | **.▲工艺导入：工艺参数可以通过移动存储介质导入，实现参数随工艺人员走，保证工艺的保密性； | 非常重要 | 否 | 是 |
| ** | **.▲文件查询：支持***文件查询，包括工艺日志、操作日志等； | 非常重要 | 否 | 是 |
| ** | **.★软件要求：厂家需开放设备流程配置文件，支持自由修改例如匀气时间、起辉稳定时间等参数的代码文件，配置文件采用******格式。 | 重要 | 是 | 是 |
|
资质要求
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
上传营业执照(副本原件扫描件) |
是 |
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） |
是 |
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） |
是 |
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） |
是 |
|
商务要求
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| * | 免费保修年限 |
*年 *年 *年 *年及以上 |
是 |
| * | 合同履约 |
该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：****://***.*************.***:****/**********/********/******/****.***。注意： （*）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （*）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。 |
否 |
| * | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） |
厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 |
是 |
| * | 售后服务要求 |
终身免费提供技术维护支持，产品出现使用问题时，供货商在*小时内给予有效响应，通过电话、邮件等方式解决，维修；若需到现场进行支持，供货商需积极配合，并且提供****小时上门服务。 |
是 |
| * | 培训要求 |
指派专业技术人员到场指导安装调试，安装调试完成后，免费对操作人员进行现场操作培训和日常保养培训，提供全套技术文档，培训人员不少于*人。 |
是 |
