电子束曝光系统维修保养服务(清采招第20260091号)自行采购理由公示
2026-04-16
北京 招标采购
电子束曝光系统维修保养服务(清采招第20260091号)自行采购理由公示
北京-2026-04-16 00:00:00
北京-2026-04-16 00:00:00
电子束曝光系统维修保养服务(清采招第********号)自行采购理由公示
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清
华大学
电子束曝光系统维修保养服务
采购项目自行采购方式公示
一、采购人：清华大学
二、地址：北京市海淀区清华园
三、联系方式：王琦
*****@********.***.**
四、项目名称：
电子束曝光系统维修保养服务
采购项目
项目编号：清采招第
***
*****
号
五、采购内容：
电子束曝光系统维修保养服务
六、采用自行采购方式原因及说明
设备包含一些易损部件，有电子枪、机械泵、激光器等等，这些零部件需要定期更换
。
新更换的电子枪
、
激光器在投入使用之前
，
有复杂的调整校准工作
，
经过原厂培训的工程师
现场整机调试才能完成这些工作。
经过长时间的使用
，
设备各个部件也相继出现不同程度老化
，
设备出现故障的情况明显
增多，要及时维修或者更换配件，才能保证设备正常工作。设备大多数配件是为
*******
*
机型定制的，只能由原厂授权的公司负责更换维修。
温湿度等工作环境的变化会造成设备不可预期的扰动
，
需要调整光轴
、
重新定义原点等
工作，这些工作也要原厂培训过的工程师协助完成。
综合以上几点
，
只能从原厂授权的捷伊欧半导体贸易
（
上海
）
有限公司采购电子束曝光
系统维保服务
，
故采用自行采购
维保服务的
方式进行
，
本项目采一签三
，
此次采购为期一年
。
在预算可保障的前提下
，
经考核合格后
，
双方协商一致可按原价原标准续签合同
，
总服务期
限不超过
*
年。
七、
服务要求
：
*
）为清华大学纳米中心的电子束曝光设备提供维修保养服务，期限为
****/**/**
至
****/**/**
截止。
*
）维修保养服务期间，设备出现工作异常情况，随时提供远程指导，排除故障。如果
必要及时到达用户现场
，
排除故障
。
（
除紧急情况外
，
电话服务以及现场服务仅限定在法定
工作日的正常工作时间内）
*
）远程故障响应时间为
*
个工作日，到场时间为
*
个工作日。
*
）设备如果有部件损坏，提供维修或者更换服务。（故意损坏或操作错误或建筑物事
故以及自然灾害等原因导致损坏的部件除外）
不包含在本维修保养服务的项目有
，
消磁器
、
不间断电源
、
变压器
、
冷却循环水箱
、
工作站
系统。
*
）维修保养服务期间，承担维修设备所产生的人工技术服务费和零部件更换费用。
八、
供应商：
捷伊欧半导体贸易（上海）有限公司
地址：上海市闵行区曲吴路
***
号中国梦谷产业园
*
号楼
九、征求意见期限从
***
*
年
*
月
**
日至
***
*
年
*
月
**
日止。
十、潜在供应商对公示内容有异议的，请于公示期满后
*
个工作日内将书面意见
(
包括：供
应商名称、联系人、联系电话、能够提供本政府采购项目的说明
)
反馈至清华大学
(
联系人
：
王琦
********
，邮箱：
*****@********.***.**
)
。
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