【1906006056】国家集成电路创新中心光学关键尺寸OCD量测设备招标
2025-10-28
上海 招标采购
【1906006056】国家集成电路创新中心光学关键尺寸OCD量测设备招标
上海-2025-10-28 00:00:00
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上海国际招标有限公司关于国家集成电路创新中心光学关键尺寸 ***量测设备的公开招标公告（招标编号：**********）项目所在地区：上海市一、招标条件本国家集成电路创新中心光学关键尺寸 ***量测设备已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为其他资金企业研发经费，招标人为上海集成电路制造创新中心有限公司。本项目已具备招标条件，现招标方式为公开招标。二、项目概况和招标范围规模：采购光学关键尺寸 ***量测设备 *台，****年 **月 **日前到货并完成验收。半导体光学关键尺寸（******* ******** ********* ***）量测设备，能实现亚纳米级量测，表征集成电路制造前道工艺中复杂的 **结构或器件，是先进工艺制程重要的良率监控方案。***设备能实现 **结构或器件的多维度尺寸量测，包括关键尺寸（******** ********* **）、间距、侧壁角度（**** **** ***** ***）、高度（******）等。相比其他高端光学量测方案，***量测的优势包括：非接触量测、不损坏被量测样品、高量测吞吐率、高测试精度。范围：本招标项目划分为 *个标段，本次招标为其中的： (***)光学关键尺寸 ***量测设备; 三、投标人资格要求 (***光学关键尺寸 ***量测设备)的投标人资格能力要求：（*）在中华人民共和国境内（不包括香港、澳门及台湾地区）登记成立的法人或非法人组织；（*）法人的分支机构以自己的名义参与投标时，应提供依法登记的相关证明材料和由法人出具的对该投标活动承担全部直接责任的明确承诺；（*）参加本次招标活动前三年内（从 ****年 **月 **日至今）未被列入严重失信主体、失信被执行人或重大税收违法失信主体；（*）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（*）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（*）具备可靠的售后服务能力，拥有专业技术支持人员以及硬件维修工程师负责售后服
,务；（*）若投标人不是投标货物的制造商，则必须提供制造商出具的针对本项目的有效授权书；（*）具备法律、行政法规规定的其他条件；;本项目不允许联合体投标。四、招标文件的获取获取时间：从 ****年 **月 **日 **时 **分到 ****年 **月 **日 **时 **分获取方式：在上海国际招标有限公司网站（***.**********.***）在线领购招标文件。招标文件每套售价 ***元，售后不退。潜在投标人首次使用该网站需进行免费注册，注册时应按要求提供《供应商注册专用授权函和承诺书》（可从供应商注册页面下载）和营业执照等扫描件，供应商应当提前准备，尽早办理，以免影响领购招标文件。已注册的潜在投标人可从网站采购公告栏的相应公告中进入在线领购招标文件流程。潜在投标人提交领购申请并支付费用到账后即可下载电子招标文件。招标代理机构会将纸质招标文件快递给潜在投标人，电子发票将发至投标人登记的邮箱。未按规定获取招标文件的潜在投标人将被拒绝参加投标。五、投标文件的递交递交截止时间：****年 **月 **日 **时 **分递交方式：上海市延安西路 ***号美丽园大厦 **楼 ****会议室纸质文件递交六、开标时间及地点开标时间：****年 **月 **日 **时 **分开标地点：上海市延安西路 ***号美丽园大厦 **楼 ****会议室七、其他无八、监督部门本招标项目的监督部门为/。九、联系方式招标人：上海集成电路制造创新中心有限公司地址：中国（上海）自由贸易试验区碧波路 ***号 ******室联系人：朱老师电话：************ 电子邮件：******@*******.***
