等离子增强化学气相沉积
2026-04-10
广东/广州 招标采购
等离子增强化学气相沉积
广东/广州-2026-04-10 00:00:00
广东/广州-2026-04-10 00:00:00
中山大学微电子科学与技术学院等离子增强化学气相沉积采购项目
发布时间： ********** **:**
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项目概况
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | 中大招（货）[****]***号 | ||
| 项目名称 | 中山大学微电子科学与技术学院等离子增强化学气相沉积采购项目 | ||
| 申购主题 | 等离子增强化学气相沉积 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | *** |
| 最高限价 | ***,***.**(人民币) | ||
| 报名及响应开始时间 | ********** **:** | 报名及响应结束时间 | ********** **:** |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 王老师 | 经办人电话 | ******** |
| 期望收货时间 | 合同签订后**天内交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | 广东省珠海市中山大学珠海校区瀚林*号****实验室 |
| 电子签章 | 本项目需要使用**签字 **操作手册下载 | ||
| 备注 | *、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 *、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第*条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 *、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。*、本项目需要使用**证书，请供应商根据指引（****://*******.****.***.**/*******/****）提前办理**证书。 *、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。*、如为进口免税报价，报价产品或报价产品的原产国属于国务院关税税则委员会公告的加征关税范围的，该产品的评审价=[供应商的免税报价×（*+本项目通知磋商谈判开始时间的国务院关税税则委员会公告的加征关税税率）]，如高于项目最高限价/预算价，则报价无效。 | ||
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采购明细
| * 采购设备 | 等离子增强化学气相沉积 |
| 数量 | *台 |
| 参考品牌 |
“等离子增强化学气相沉积”技术要求
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| * | ▲射频电源≥****，频率**.*****（带自动匹配网络）。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| * | 加热温控电源额定功率≥*****，搭载***温控系统，设备可控加热温度（基片）≥***℃，加热至***℃时间≤*****，温控精度指标达±*.*℃；在连续运行*小时的周期内，设备温度控制性能稳定，实际输出温度与设定温度的偏差始终维持在±*.*℃的精度区间内，无超出指标范围的异常波动。 | 重要 | 否 | 否 |
| * | ▲脉冲偏压电源≥*****，实现*****~*****输出电压、*~*.**输出电流调节，脉冲频率****~******。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| * | 控制系统：***+触摸屏组成的电气控制系统，触摸屏面板控制。 | 重要 | 否 | 否 |
| * | 环境≤**%**条件下，关机**小时后，真空度≤***；抽真空时间：大气压到********＜*****；到*×******＜****；极限真空≤********。 | 重要 | 否 | 否 |
| * | 基片台材质为高纯石墨（控温均匀性±*％）；需支持*英寸样片、*英寸样片和碎片；管道加热温度≥***℃。 | 重要 | 否 | 否 |
| * | ▲膜厚均匀度：针对*英寸圆基片/*****方形基片，制备****膜（膜厚*********）时，片内成膜厚度均匀性≤±*%；采用*点测试法（测点为基片中心及四角、边缘对称点位）检测，剔除基片边缘***无效区域数据。需满足****膜层折射率：均值*.*（偏差≤±*.**），椭圆偏振仪测试精度≤±*.***。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| * | 配备*个样品架，样平台可加热，可旋转，具备偏压功能。 | 重要 | 否 | 否 |
| * | 真空室尺寸≥Φ***×******或支持制备*英寸样片的真空室。样品架移动距离≥±****。 | 重要 | 否 | 否 |
| ** | 配备气动插板阀一套；支持腔室不停泵放气。真空测量：一个全量程真空计（量程至少覆盖从大气到********，一套前级真空计。配备一套薄膜真空计，测量范围至少包括*.***********。真空室及主要部件水冷保护，具备缺水、断路等异常报警及保护措施。 | 重要 | 否 | 否 |
| ** | ★气路系统：配置 * 种气体，一路 **（*********），一路 **（*********），一路 **（***** ****），一路 ***（***** ****），预留一路（***** ****）工艺气体； 每路气体采用单独 ***控制，且支持通过软件控制***。质量流量控制器精度：不低于±*.*% *.*.(≥**% *.*.)；±*.**% *.*.(<30%f.s.)；质量流量控制器响应时间：≤1sec。> | 非常重要 | 是 | 是 |
| ** | 设备主机、外置水冷机（温控范围需覆盖****℃，水箱容量≥***，水泵流量可控范围需覆盖**~***/***）、外置机械泵（抽速≥**/*）各一套。 | 重要 | 否 | 是 |
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资质要求
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
上传营业执照(副本原件扫描件) |
是 |
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） |
是 |
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） |
是 |
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） |
是 |
|
商务要求
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| * | 免费保修年限 |
*年 *年 *年及以上 |
是 |
| * | 合同履约 |
该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：****://***.*************.***:****/**********/********/******/****.***。注意： （*）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （*）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。 |
否 |
| * | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） |
厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 |
是 |
| * | 售后服务要求 |
*.供应商须在发货前协助采购人用户完成安装条件的准备工作；
*.收到采购人用户安装条件就绪的通知后，供应商方需委派安装工程师在*天内到安装现场进行设备的安装和调试；
*.保修期内如用户在设备使用过程中出现故障，供应商须在接到故障通知后即时响应，并在**小时内安排上门服务，如故障需要更换零配件，供应商须在*个工作日内将配件调配到位并将设备维修好；
*.每年至少提供一次上门检修服务；
*.质量保证期内中标（成交）供应商对所供货物实行包修、包换、包退、包维护保养，保修期后设备维修配件更换只收取成本费用。 |
是 |
| * | 培训要求 |
设备安装完成后，由专业应用技术工程师进行产品使用的培训工作，培训包括但不限于该设备结构、工作原理、故障判断、故障处理、设备的正常操作、维护、保养等相关内容，直到至少*名操作人员能够熟练使用设备为止。 |
是 |
