河南大学2026年05月政府采购意向公开
2026-04-08
河南/开封 招标采购
河南大学2026年05月政府采购意向公开
河南/开封-2026-04-08 00:00:00
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河南大学****年**月政府采购意向公开
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为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《河南省财政厅关于开展政府采购意向公开工作的通知》（豫财购〔****〕* 号）规定，现将河南大学****年**月政府采购意向公开采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购时间 | 备注 |
| * | 有机薄膜真空沉积系统，手套箱，旋涂仪 | *. 有机薄膜真空沉积系统设备（真空镀膜机）：采购数量为*台，主要功能：带有*组蒸发源，可对金属，有机，无机物等材料进行蒸镀，每组蒸发源均配备冷却系统，源与基片的垂直距离≥*****；每台舟源蒸发电源，功率≤*.***，精度*.**，用于蒸发材料。配合膜厚仪，能够实现材料蒸镀；采用触摸控制模式，相关的操作均在触摸屏界面完成，触摸屏通过机械手臂固定在设备框架；膜厚速率显示精度在±*.***/*；蒸镀速率， 以**为标准，蒸镀速率: 速度稳定性:≤±**%(*.***.**/*)，≤±*%(*.*****/*)，≤±*%(***;***/*)；单片内膜厚匀性：±*%；腔体极限真空优于********，从常压到********不超过*****（充氮气保护）； *. 手套箱：采购数量为*套，每套包换*个双工位手套箱和*个单工位手套箱，主要功能：手套箱内的惰性气体经循环风机和净化器密闭循环，不断地除水除氧；除水除氧材料可以再生，再生过程由程序控制；手套箱内的气氛置换通过自动控制的清洗阀门完成；手套箱内压力通过***自动控制，工作压力+/*** ****内可以自由设定，超出+/*******系统自动保护；水氧指标：小于****；箱体泄漏率：小于*.******%/*； *. 旋涂仪：采购数量为*台，主要功能：处理腔体内径不小于*****；*****芯片尺寸至少满足********直径的材料，方片*********，无需更换片托；腔体具有易清洁材质；转动速度至少满足****,******；旋涂加速度不小于**,******/***；马达旋涂转速稳定性能误差不超过±*%；工艺时间设定范围至少满足******.****/**** ，精度不超过*.**；可存储不少于**个程序段，每个程序段可设置不少于**个不同步骤的速度状态； | *** | ****年**月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
河南大学
****年**月**日
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