深圳医科院光刻机激光器TEL设备二次配项目（FS-BX-260026号）采购公告
2026-04-03
广东/深圳 招标采购
深圳医科院光刻机激光器TEL设备二次配项目（FS-BX-260026号）采购公告
广东/深圳-2026-04-03 00:00:00
广东/深圳-2026-04-03 00:00:00
| 项目名称 | 深圳医科院光刻机激光器***设备二次配项目 | 项目编号 | ************号 |
|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | ********** **:**:** | 公示截止日期 | ********** **:**:** |
| 采购单位 | 深圳医学科学院 | 付款方式 | 分阶段付款：预付**%，完成施工后付**%，改造项目拿到验收合格后**个工作日内付剩余**% |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 到货时间要求 | |
| 预算 | ￥***,***.** | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
供应商基本情况表 (必选) |
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| 收货地址 | |||
采购清单*
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 医科院光刻机激光器***设备二次配项目 | * | 项 | 其他工程总承包服务 |
| 品牌 | |||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | |||
| 预算 | ¥***,***.** | ||
| 技术参数 | ****光刻机和***二次配（含气体、冷却、电气接口对接） 气体接口二次配：将改造后的氟氪氖、氪氖、氦气输送系统与光刻机专用气体接口精准对接，配置专用快插接头（泄漏率≤*×**^****/*），接口压力与光刻机需求匹配（*.***.****）；每条气体管路末端加装独立截止阀及压力监测点，实时监控供气状态。 冷却接口二次配：对接***冷却水系统与光刻机冷却回路，采用***材质高压软管（耐压≥*.****，无溶出物），管路长度≤**，减少流阻；安装流量调节阀（调节范围******/***）及温度传感器，确保冷却水进水温度稳定在**±*℃，满足光刻机散热需求。 电气接口二次配：完成光刻机动力电源（****三相五线制）、控制信号线缆（屏蔽双绞线）的敷设与对接，线缆穿管防护（材质为***不锈钢），防护等级达到****；动力线缆载流量≥***，控制信号线缆传输延迟≤****，确保设备电气系统稳定运行。 接口固定与防护：所有气体、冷却、电气接口采用防震支架固定，支架间距≤*.**，避免设备运行振动导致接口松动；接口区域加装防尘罩，防护等级****，防止洁净室颗粒物污染接口。 氟氪氖、氪氖、氦气输送系统优化升级 对现有氟氪氖、氪氖、氦气和氦氮供应系统的输送管路进行全面优化，更换为**** **级不锈钢管路（内壁电解抛光，粗糙度**≤*.*μ*），配套***密封接头，确保气体传输过程无杂质污染； 每套系统配置高精度稳压减压阀（调节范围******，精度±*.*****），保障供气压力稳定；匹配****光刻机工艺需求。 系统整体调试与验证 二次配对接调试：启动****光刻机空载运行，测试气体接口供气稳定性（压力波动≤±*.*****）、冷却接口流量与温度稳定性（温度波动≤±*.*℃）、电气接口信号传输可靠性（无丢包、无延迟），确保各接口对接无误。 特气系统泄漏测试：完成所有改造后，对氟氪氖、氪氖、氦气和氦氮系统进行整体氦泄漏测试，确保无任何泄漏点； 设备联动测试：模拟光刻机正常运行工况，验证特气供应、冷却水循环、电气控制的协同运行效果，连续运行**小时无异常报警； 精度校准：对每套特气系统的减压阀、流量稳定器进行精准校准，确保压力调节精度和流量稳定性符合设定要求；对泄漏侦测器进行灵敏度测试，验证联动机制响应时效性。 |
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| 售后服务 | 服务网点:当地;电话支持:****小时;服务年限:一年;服务时限:报修后*小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:*个月; | ||
深圳医学科学院
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