一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：介质刻蚀尾气处理系统

三、公开信息：

*.设备名称：介质刻蚀尾气处理系统

*.数量：*

*.关键技术指标：*基气体处理速度为*******,处理效率达**%以上。

*.预算金额：***,***.**元

*.拟成交供应商：苏州超镪半导体科技有限公司

*.拟成交价格：***,***.** 元

电子与信息工程学院

****年**月**日