尾气侦测系统至少包含 * 个氟基气体侦测器，具备氟基气体（如 ***、****、****等）侦测能力，侦测器须满足实验室环境使用要求，具备高灵敏度、快速响应及稳定输出能力，能够实时监测介质刻蚀机尾气中的氟基气体浓度，并具备报警输出功能。中标人需负责设备的现场安装、管道连接、系统调试，确保尾气侦测系统与设备尾气处理器正常联动运行。实际安装情况以现场踏勘为准，投标人应充分考虑现场条件(实验室为洁净室，安装过程中需符合洁净室规范，所有配件须符合洁净管道系统要求，材质为 ******或更优)，中标后须无条件满足现场安装需求，不得以现场情况为由要求增加费用或调整合同总价。

(*) 质保期限为*年；(*) 提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受甲方的电话技术咨询，如故障不能排除，须在**小时内提供解决方案和现场服务，待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况，无法现场解决问题的，需提供备用货物服务保障正常工作。