招标编号：***************

项目名称：氮化硅/硅光波导刻蚀机

招 标 人：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所

招标代理机构：中科信工程咨询（北京）有限责任公司

中 标 人：深圳市矢量科学仪器有限公司

中科信工程咨询（北京）有限责任公司

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