标的名称：白光干涉仪
数量/单位：*套
预算金额（元）：*******.**

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需实现的主要功能或者目标：白光干涉仪是种高精度光学测量仪器，主要功能是实现样品表面三维形貌的非接触式精密测量、表面粗糙度量化分析、台阶高度与薄膜厚度测量等，配备不同倍率干涉物镜可覆盖微米级到毫米级视场，通过图像拼接技木能扩展测量区域，还可以实现三维可视化显示、截面轮廓提取、体积计算、几何尺寸标注及统计过程控制等数据分析功能。
该仪器自动计算**、**、**等各类粗糙度参数，以光学非接触方式获取数据，避免探针接触造成的样品损伤，将用于软质材料、脆性元件和高价值精密器件的表面质量评价，如半导体晶圆检测、光学元件质量评估、****结构表征及精密机械零件分析等。

需满足的质量、服务、安全、时限等要求：该仪器由测量单元、控制器、隔振底座、镜头以及分析软件构成，采用***万像素高速相机，支持***/***双模式。在任意放大倍率下均可实现＜***的检测精度；通过专用软件对**形貌进行数据分析和处理；隔振设计，稳定性提升至少*.*倍。；整机提供*年以上质保，质保期内免费维修和更换配件；质保期外，提供终身维护维修；整机提供**×*小时内电话响应服务，般情况下不超过**小时内到达现场。；合理规划安装位置，预留合理检修通道、人行动线通道，确保实验室及人身安全。；签订合同后*个月内交货。。