一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：**片*寸硅片深硅刻蚀项目

三、公开信息：

*.服务内容：***深硅刻蚀与种子层制备

*.服务期限：*个月

*.预算金额：**,***.**元

*.拟成交供应商：广东中科半导体微纳制造技术研究院

*.拟成交价格：**,***.** 元

电子与信息工程学院

****年**月**日