陶瓷吸盘和光罩版采购(A-WZBX1236)采购公告
2025-11-11
福建/厦门 招标采购
陶瓷吸盘和光罩版采购(A-WZBX1236)采购公告
福建/厦门-2025-11-11 00:00:00

陶瓷吸盘和光罩版采购(**********)采购公告

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项目名称 陶瓷吸盘和光罩版采购 项目编号 **********
公告开始日期 ********** **:**:** 公告截止日期 ********** **:**:**
采购单位 物理科学与技术学院 付款方式
联系人 成交后在我参与的项目中查看 联系电话 成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求 到货时间要求 签约后**个工作日内
预算总价 ***,***.** + + 未公布
收货地址 厦门大学翔安校区能源材料大楼*号楼
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明
采购清单*
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
光罩版 *
品牌 品牌*
型号
品牌*
型号
品牌*
型号
预算单价 ***,***.**
技术参数及配置要求 *套*块光罩版,具体参数如下:
*、********,用于分辨率、焦深、****慧差的测试标准;
*、*********,用于镜头畸变、掩膜旋转的测试标准;
*、*******,用于掩膜挡板设置精度、调焦精度、正交性、二次预对准精度、镜头倍率的测试标准;
*、********,用于***、场曲、像散、焦距稳定性的测试标准;
*、*******,用于*******;***套刻精度、*****步进精度的测试标准。
售后服务 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;
采购清单*
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
陶瓷吸盘 *
品牌 品牌*
型号
品牌*
型号
品牌*
型号
预算单价 ***,***.**
技术参数及配置要求 兼容*、*英寸片源,硅片预对准精度≤****,且保证在关闭二次预对准后,仅通过一次预对准,测晶圆预对准重复性******≤****;
不影响分辨率、套刻精度等光刻机关键指标性参数;
平坦度要求≤***,超平片测试≤***。
售后服务 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;

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