安徽/合肥-2026-03-02 00:00:00
中国科学技术大学氩团簇刻蚀装置采购项目单一来源采购公示
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一、项目信息
采购人：中国科学技术大学
项目名称：中国科学技术大学氩团簇刻蚀装置采购项目
拟采购的货物或服务的说明：中国科学技术大学拟购置一台氩团簇刻蚀装置
拟采购的货物或服务的预算金额：***万元
采用单一来源采购方式的原因及说明：合肥同步辐射装置仪器设备更新改造项中为完成集成电路研究平台中光电子能谱线站升级，拟购置一台氩团簇刻蚀装置用于光电子能谱线站。由于项目研究的需求，拟购置的氩团簇刻蚀装置需要满足以下技术指标：可生成气体团簇尺寸 ******个原子连续可调，可生成气体团簇种类为任意非腐蚀性气体，束流能量范围*.*******，束流质量选择分辨率*/Δ*≥**，气体团簇束流强度≥****，气体团簇束流束斑直径尺寸 *.******，以满足合肥光源光电子能谱线站材料表面低损伤溅射刻蚀的科学需求。本项目仅能采购国产设备，经调研目前国内只有深圳扩维原子科技有限公司制造的型号为****************** 的氩团簇刻蚀装置能够满足我们的实验要求，因此申请采用单一来源采购方式从该公司采购一台氩团簇刻蚀装置。
二、拟定供应商信息
名称：深圳扩维原子科技有限公司
地址：深圳市龙华区茜坑路**号鸿创科技中心*栋*层
三、公示期限
公示期限：*个工作日（****年*月*日*****年*月*日）；任何供应商、单位或个人对本采购项目有异议的，可以在公示期内以书面形式向安徽省招标集团股份有限公司反映。
四、联系方式
*.采购人：中国科学技术大学
联系人：宣老师
联系地址：合肥市金寨路**号
联系电话：*************
邮箱：******@****.***.**
*.采购代理机构：安徽省招标集团股份有限公司
联系 人：刘志凌、魏思宇
联系地址：安徽省合肥市包河区紫云路***号
联系电话：*************、********、***********
五、附件
专业人员论证意见表
