大面积铁电薄膜制备设备
2025-12-16
广东 中标结果
大面积铁电薄膜制备设备
广东-2025-12-16 00:00:00
广东-2025-12-16 00:00:00
大面积铁电薄膜制备设备
竞价公告(****************)
...
说明：各有关当事人对竞价公告内容有异议的，可以在竞价截止时间前通过规定途径提起异议，逾期将视为无异议，不予受理。
一、基本信息
| 竞价编号：**************** | |
| 项目名称：大面积铁电薄膜制备设备 | |
| 项目预算(元)：***,***.** | 报价方式： 总价报价 |
| 采购单位：华南师范大学 | 联系人：****** |
| 最少有效报价家数：* | 联系电话：****** |
| 联系手机：****** | 电子邮箱：****** |
| 异议反馈：****** | |
| 开始时间：********** **:**:** | 截止时间：********** **:**:** |
| 报价文件要求：本项目要求报价时上传相关文件 | |
|
报价方式说明：
总价报价：要求供应商按照清单进行分项报价并乘以数量汇总计算出总价。
|
|
二、资格条件
| 资格条件：无 |
三、商务要求
| 付款方式：合同签订并收到发票后*个工作日内，支付合同金额的**%；验收通过并收到发票后**个工作日内，支付剩余合同金额。 | |
| 履约保证金： 无需履约保证金 | |
| 交付时间：合同签订后**个工作日内交付 | |
| 交付地址：华南师范大学大学城校区理*栋***。 | |
| 质保期及售后要求：*. 质保期：中标人对本合同标的提供*年质保期（费用包含在投标报价中），*年 免费维护保养，对由于设计、制造工艺、材料和安装所造成的质量缺陷或质量问题 负责，并进行修理、更换零部件或退换，并须对设备出现的有关技术性问题或安全 问题负责处理、解决，同时中标人应相应延长被更换货物的质保期，软件提供终身 升级，质保期自货物验收合格之日起计算。质保期内提供现场保修、包换或包退服 务，由此产生的一切费用均由中标人承担。中标人不能修复、调换或不能退货的， 应退回相应货款，并承担相应违约责任。 *.中标人应有专职工程师负责对所售产品安装，调试，培训，维修和处理。质保期 内，在接到系统故障或问题告知后，中标人响应时间不得超过**小时，到达现场 时间不得超过**小时，并应在**小时（前述响应及到达现场时间已包含计算在 内）内排除故障。否则视为中标人不能修复货物。如果需要更换配件的，中标人须 在*个工作日内完成配件更换服务，且更换的配件跟被更换的品牌、类型相一致或 者是同类档次相当或更高的替代品，后者需征得采购人管理人员同意。如果故障在 前述时间内仍无法排除，中标人应无条件在*个工作日内提供不低于故障设备规格 型号档次的备用设备供采购人使用，直至故障设备修复。 *.质保期内，同一硬件一个月内连续*次出现同一故障，中标人应无条件更换性能 指标不低于原规格型号的新部件。严重影响教学工作的，中标人无条件提供不低于 该档次的设备给采购人使用。 *.质保期满后设备维修仅收取配件成本费，不收取上门费及人工费。中标人承诺配 件更换的费用，以不高于市场价格*折提供给学校。 *.培训：中标人负责提供合同标的现场操作、运行、维护、修理的培训方案及必需的 培训资料，并对采购人受训人员进行现场培训直至能熟练操作为止，培训次数不少 于*次，每次培训应配置不少于*个工程师，培训天数应不少于*天，培训期间工 程师的食宿由中标人负责。培训内容应至少包括：设备的操作使用和保养；设备安 全注意事项；设备简易故障排除等。在后期使用过程中，如需增加培训环节，中标 人负责根据采购人需要提供培训服务。以上相关费用已包含在投标报价中。 | |
| 其他要求：气泵若在**年内损坏，中标人应免费维修或更换。 | |
| 备注：暂无 |
四、技术要求
| 序号 | 标的名称 | 数量 | 计量单位 | 生产厂商/品牌 | 型号规格 | 是否限定品牌 | 技术要求 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 高温磁控溅射镀膜系统 | *.** | 台 | 普迪 | ******* | 是 | *. 极限真空：≤*×******（经烘烤除气后）； *. 抽速测试：从大气抽到工作真空（*×******）时间≤** 分 钟（氮气破真空）； *. 系统漏率：≤********.*/*(以氦质谱检漏仪测试指标考 核）； *. 系统保压：系统抽至高真空后停泵关机保压** 小时后真空 度≤****; *. 基片加热：衬底最高加热温度≥***℃, 精度≤±*°*； *. 溅射尺寸：衬底基片最大* 英寸，兼容* 英寸、* 英 寸、Φ****、Φ****，以及小尺寸方形片（对角线长度小于 ****）。基片旋转速度：*～***** 连续可调； *. 成膜质量：托盘* 英寸范围内均匀性≤±*%； *. 优质*** 不锈钢真空室，尺寸不小于*****（宽）× *****（深）× *****（高），最终以实际设计尺寸为准，内外 部电抛光处理； *. 底部安装* 套靶枪及挡板转轴，真空室顶部及底部有备用 法兰接口； **.可拆卸不锈钢内衬； **.设备带支撑地脚和滚轮； **.分子泵抽速≥****/*，机械泵抽速≥**/*； **.全量程真空计（量程从大气到********）; **.*路进气，流量计最大流量不小于***/***/******； **.*个* 英寸圆形靶枪；靶枪带一个独立的电控气动挡板； **.*个直流电源，功率≥****； **.*个射频电源，功率≥****； **.直径* 英寸工件台，转速******* 可调节， 转轴磁流体密 封，最高加热温度室温至*** 度精度: ±*°*，配备基片挡 板，电控气动。 **. 系统应至少包含以下配置：脂润滑分子、高真空阀门、机械泵、真空计、小阀门、气体质量流量计、自动匹配射频电源、磁控靶枪、直流电源、靶挡板、样品台、恒压控制系统、电气控制系统、循环水机、气泵、薄膜规等。 |
五、附件
| 序号 | 附件名称 | 上传时间 | 大小 | 操作 |
|---|
本页面提供的内容由采购人发布， 广东教采云零散采购竞价平台及其运营单位对其内容概不负责，亦不承担任何法律责任。未经本平台授权，严禁以任何形式转载或使用本平台数据，一经发现，依法追究法律责任。
